சிறப்பு வாயுக்கள்
-
சல்பர் டெட்ராஃப்ளூரைடு (SF4)
EINECS எண்: 232-013-4
CAS எண்: 7783-60-0 -
நைட்ரஸ் ஆக்சைடு (N2O)
சிரிப்பு வாயு என்றும் அழைக்கப்படும் நைட்ரஸ் ஆக்சைடு, N2O என்ற வேதியியல் சூத்திரத்தைக் கொண்ட ஒரு அபாயகரமான வேதிப்பொருள் ஆகும். இது நிறமற்ற, இனிமையான மணம் கொண்ட ஒரு வாயு. N2O ஒரு ஆக்சிஜனேற்றி ஆகும்; இது சில நிபந்தனைகளின் கீழ் எரிதலை ஆதரிக்க முடியும், ஆனால் அறை வெப்பநிலையில் நிலையானது மற்றும் லேசான மயக்க விளைவைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது மக்களை சிரிக்க வைக்கக் கூடியது. -
கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (CF4)
டெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் என்றும் அழைக்கப்படும் கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு, சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் நிறமற்ற ஒரு வாயுவாகும், மேலும் இது நீரில் கரையாதது. நுண்மின்னணுவியல் துறையில், CF4 வாயு தற்போது மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா பொறிப்பு வாயுவாக உள்ளது. இது லேசர் வாயு, மீக்குளிர்விப்பான், கரைப்பான், மசகு எண்ணெய், மின்காப்புப் பொருள் மற்றும் அகச்சிவப்பு உணரிக் குழாய்களுக்கான குளிர்விப்பான் ஆகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
சல்பரைல் ஃபுளோரைடு (F2O2S)
சல்பரைல் ஃபுளோரைடு (SO2F2) என்ற நச்சு வாயு, முக்கியமாக ஒரு பூச்சிக்கொல்லியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சல்பரைல் ஃபுளோரைடு வலுவான பரவல் மற்றும் ஊடுருவும் தன்மை, பரந்த அளவிலான பூச்சிக்கொல்லிப் பண்பு, குறைந்த அளவு, குறைந்த எஞ்சிய அளவு, வேகமான பூச்சிக்கொல்லி வேகம், குறைந்த வாயு பரவல் நேரம், குறைந்த வெப்பநிலையில் வசதியான பயன்பாடு, முளைப்பு விகிதத்தில் பாதிப்பின்மை மற்றும் குறைந்த நச்சுத்தன்மை போன்ற பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், இது கிடங்குகள், சரக்குக் கப்பல்கள், கட்டிடங்கள், நீர்த்தேக்க அணைகள், கரையான் தடுப்பு போன்றவற்றில் மேலும் மேலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
சிலேன் (SiH4)
சிலேன் SiH4 என்பது சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் நிறமற்ற, நச்சுத்தன்மை வாய்ந்த மற்றும் மிகவும் வீரியமிக்க ஒரு அழுத்தப்பட்ட வாயு ஆகும். சிலேன், சிலிக்கானின் புறவளர்ச்சி, பாலிசிலிக்கான், சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்றவற்றுக்கான மூலப்பொருட்கள், சூரிய மின்கலங்கள், ஒளியிழைகள், வண்ணக் கண்ணாடி உற்பத்தி மற்றும் வேதி ஆவிப் படிவு ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
ஆக்டாஃப்ளூரோசைக்ளோபியூட்டேன் (C4F8)
ஆக்டாஃப்ளூரோசைக்ளோபியூட்டேன் C4F8, வாயுத் தூய்மை: 99.999%, இது பெரும்பாலும் உணவு ஏரோசால் உந்துவிசை வாயுவாகவும் மற்றும் ஊடக வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பெரும்பாலும் குறைக்கடத்தி PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் ஆவிப் படிவு) செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. C4F8 ஆனது CF4 அல்லது C2F6-க்கு மாற்றாக, சுத்தப்படுத்தும் வாயுவாகவும் மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை அரிப்பு வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
நைட்ரிக் ஆக்சைடு (NO)
நைட்ரிக் ஆக்சைடு வாயு என்பது NO என்ற வேதியியல் வாய்ப்பாட்டைக் கொண்ட நைட்ரஜனின் ஒரு சேர்மம் ஆகும். இது நிறமற்ற, மணமற்ற, நீரில் கரையாத ஒரு நச்சு வாயு ஆகும். நைட்ரிக் ஆக்சைடு வேதியியல் ரீதியாக மிகவும் வினைத்திறன் வாய்ந்தது மற்றும் ஆக்ஸிஜனுடன் வினைபுரிந்து அரிக்கும் தன்மையுடைய நைட்ரஜன் டை ஆக்சைடு (NO₂) வாயுவை உருவாக்குகிறது. -
ஹைட்ரஜன் குளோரைடு (HCl)
ஹைட்ரஜன் குளோரைடு (HCl) வாயு என்பது ஒரு கடுமையான வாசனையுடைய நிறமற்ற வாயு ஆகும். அதன் நீர்க்கரைசல் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் என அழைக்கப்படுகிறது. ஹைட்ரஜன் குளோரைடு முக்கியமாக சாயங்கள், மசாலாப் பொருட்கள், மருந்துகள், பல்வேறு குளோரைடுகள் மற்றும் அரிமானத் தடுப்பான்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
ஹெக்ஸாஃப்ளூரோபுரோப்பிலீன் (C3F6)
ஹெக்ஸாஃப்ளூரோபுரோப்பிலீன், வேதியியல் வாய்ப்பாடு: C3F6, என்பது சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் ஒரு நிறமற்ற வாயு ஆகும். இது முக்கியமாக பல்வேறு ஃபுளூரின் அடங்கிய நுண் வேதிப் பொருட்கள், மருந்து இடைநிலைப் பொருட்கள், தீயணைப்பான்கள் போன்றவற்றைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது, மேலும் ஃபுளூரின் அடங்கிய பாலிமர் பொருட்களைத் தயாரிக்கவும் இதைப் பயன்படுத்தலாம். -
அம்மோனியா (NH3)
திரவ அம்மோனியா / நீரற்ற அம்மோனியா என்பது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்ட ஒரு முக்கியமான இரசாயன மூலப்பொருள் ஆகும். திரவ அம்மோனியாவை ஒரு குளிர்பதனப் பொருளாகப் பயன்படுத்தலாம். இது முக்கியமாக நைட்ரிக் அமிலம், யூரியா மற்றும் பிற இரசாயன உரங்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது, மேலும் மருந்து மற்றும் பூச்சிக்கொல்லிகளுக்கான மூலப்பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். பாதுகாப்புத் துறையில், இது ராக்கெட்டுகள் மற்றும் ஏவுகணைகளுக்கான உந்து எரிபொருட்களைத் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
