கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4)

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு என்பது CF4 என்ற வேதியியல் சூத்திரத்துடன் கூடிய ஹாலோஜனேற்றப்பட்ட ஹைட்ரோகார்பன் ஆகும்.இது ஆலஜனேற்றப்பட்ட ஹைட்ரோகார்பன், ஆலஜனேற்றப்பட்ட மீத்தேன், பெர்ஃப்ளூரோகார்பன் அல்லது ஒரு கனிம சேர்மமாக கருதப்படலாம்.கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு ஒரு நிறமற்ற மற்றும் மணமற்ற வாயு, நீரில் கரையாதது, பென்சீன் மற்றும் குளோரோஃபார்மில் கரையக்கூடியது.சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தின் கீழ் நிலையானது, வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றங்கள், எரியக்கூடிய அல்லது எரியக்கூடிய பொருட்களைத் தவிர்க்கவும்.எரியாத வாயு, அதிக வெப்பத்திற்கு வெளிப்படும் போது கொள்கலனின் உள் அழுத்தம் அதிகரிக்கும், மேலும் விரிசல் மற்றும் வெடிக்கும் ஆபத்து உள்ளது.இது வேதியியல் ரீதியாக நிலையானது மற்றும் எரியாதது.திரவ அம்மோனியா-சோடியம் உலோக மறுஉருவாக்கம் மட்டுமே அறை வெப்பநிலையில் வேலை செய்ய முடியும்.கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு என்பது கிரீன்ஹவுஸ் விளைவை ஏற்படுத்தும் ஒரு வாயு ஆகும்.இது மிகவும் நிலையானது, வளிமண்டலத்தில் நீண்ட நேரம் தங்கக்கூடியது மற்றும் மிகவும் சக்திவாய்ந்த கிரீன்ஹவுஸ் வாயு ஆகும்.கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.இது லேசர் வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் குறைந்த வெப்பநிலை குளிர்பதனப் பொருட்கள், கரைப்பான்கள், லூப்ரிகண்டுகள், இன்சுலேடிங் பொருட்கள் மற்றும் அகச்சிவப்புக் கண்டறிவிற்கான குளிரூட்டிகள் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.இது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் அதிகம் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா எச்சிங் வாயு ஆகும்.இது டெட்ராபுளோரோமீத்தேன் உயர் தூய்மை வாயு மற்றும் டெட்ராபுளோரோமீத்தேன் உயர் தூய்மை வாயு மற்றும் உயர் தூய்மை ஆக்ஸிஜன் ஆகியவற்றின் கலவையாகும்.இது சிலிக்கான், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் பாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி ஆகியவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.டங்ஸ்டன் மற்றும் டங்ஸ்டன் போன்ற மெல்லிய படலப் பொருட்களின் செதுக்குதல் மின்னணு சாதனங்களின் மேற்பரப்பு சுத்தம், சூரிய மின்கல உற்பத்தி, லேசர் தொழில்நுட்பம், குறைந்த வெப்பநிலை குளிர்பதனம், கசிவு ஆய்வு மற்றும் அச்சிடப்பட்ட சர்க்யூட் தயாரிப்பில் சோப்பு போன்றவற்றிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு குறைந்த வெப்பநிலை குளிரூட்டி மற்றும் பிளாஸ்மா உலர் எச்சிங் தொழில்நுட்பமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.சேமிப்பிற்கான முன்னெச்சரிக்கைகள்: குளிர்ந்த, காற்றோட்டம் இல்லாத எரியாத எரிவாயு கிடங்கில் சேமிக்கவும்.நெருப்பு மற்றும் வெப்ப மூலங்களிலிருந்து விலகி இருங்கள்.சேமிப்பு வெப்பநிலை 30 ° C ஐ விட அதிகமாக இருக்கக்கூடாது.எளிதில் (எரியும்) எரியக்கூடிய பொருட்கள் மற்றும் ஆக்ஸிஜனேற்றங்களிலிருந்து தனித்தனியாக சேமிக்கப்பட வேண்டும், மேலும் கலப்பு சேமிப்பைத் தவிர்க்கவும்.சேமிப்பு பகுதியில் கசிவு அவசர சிகிச்சை உபகரணங்கள் பொருத்தப்பட்டிருக்க வேண்டும்.

விண்ணப்பம்:

① குளிர்பதனப் பொருள்:

டெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் சில நேரங்களில் குறைந்த வெப்பநிலை குளிரூட்டியாக பயன்படுத்தப்படுகிறது.

② பொறித்தல்:

இது எலக்ட்ரானிக்ஸ் மைக்ரோ ஃபேப்ரிகேஷனில் தனியாக அல்லது ஆக்ஸிஜனுடன் இணைந்து சிலிக்கான், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடுக்கான பிளாஸ்மா எச்சனாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சாதாரண தொகுப்பு:

நன்மை:

①உயர் தூய்மை, சமீபத்திய வசதி;

②ISO சான்றிதழ் உற்பத்தியாளர்;

③விரைவான விநியோகம்;

④ஒவ்வொரு அடியிலும் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான ஆன்-லைன் பகுப்பாய்வு அமைப்பு;

⑤உயர் தேவை மற்றும் சிலிண்டரை நிரப்புவதற்கு முன் கையாளும் நுணுக்கமான செயல்முறை;