சிறப்பு வாயுக்கள்
-
சல்பர் டெட்ராஃப்ளூரைடு (SF4)
EINECS எண்: 232-013-4
CAS எண்: 7783-60-0 -
நைட்ரஸ் ஆக்சைடு (N2O)
சிரிக்கும் வாயு என்றும் அழைக்கப்படும் நைட்ரஸ் ஆக்சைடு, N2O என்ற வேதியியல் சூத்திரத்தைக் கொண்ட ஒரு ஆபத்தான வேதிப்பொருளாகும். இது நிறமற்ற, இனிமையான மணம் கொண்ட வாயு. N2O என்பது ஒரு ஆக்ஸிஜனேற்றியாகும், இது சில நிபந்தனைகளின் கீழ் எரிப்பை ஆதரிக்க முடியும், ஆனால் அறை வெப்பநிலையில் நிலையானது மற்றும் லேசான மயக்க விளைவைக் கொண்டுள்ளது. , மேலும் மக்களை சிரிக்க வைக்கும். -
கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (CF4)
டெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் என்றும் அழைக்கப்படும் கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு, சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் நிறமற்ற வாயுவாகவும், நீரில் கரையாததாகவும் உள்ளது. CF4 வாயு தற்போது நுண் மின்னணுவியல் துறையில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயுவாகும். இது லேசர் வாயு, கிரையோஜெனிக் குளிர்பதனப் பொருள், கரைப்பான், மசகு எண்ணெய், மின்கடத்தாப் பொருள் மற்றும் அகச்சிவப்பு கண்டறிதல் குழாய்களுக்கு குளிரூட்டியாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
சல்பூரைல் புளோரைடு (F2O2S)
சல்பூரைல் ஃவுளூரைடு SO2F2, நச்சு வாயு, முக்கியமாக பூச்சிக்கொல்லியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சல்பூரைல் ஃவுளூரைடு வலுவான பரவல் மற்றும் ஊடுருவல், பரந்த-ஸ்பெக்ட்ரம் பூச்சிக்கொல்லி, குறைந்த அளவு, குறைந்த எஞ்சிய அளவு, வேகமான பூச்சிக்கொல்லி வேகம், குறுகிய வாயு பரவல் நேரம், குறைந்த வெப்பநிலையில் வசதியான பயன்பாடு, முளைப்பு விகிதத்தில் எந்த விளைவும் இல்லை மற்றும் குறைந்த நச்சுத்தன்மை போன்ற பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், கிடங்குகள், சரக்குக் கப்பல்கள், கட்டிடங்கள், நீர்த்தேக்க அணைகள், கரையான் தடுப்பு போன்றவற்றில் இது மேலும் மேலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
சிலேன் (SiH4)
சிலேன் SiH4 என்பது சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் நிறமற்ற, நச்சுத்தன்மை வாய்ந்த மற்றும் மிகவும் சுறுசுறுப்பான சுருக்கப்பட்ட வாயுவாகும். சிலானின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி, பாலிசிலிக்கானுக்கான மூலப்பொருட்கள், சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்றவை, சூரிய மின்கலங்கள், ஒளியியல் இழைகள், வண்ணக் கண்ணாடி உற்பத்தி மற்றும் இரசாயன நீராவி படிவு ஆகியவற்றில் சிலேன் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
ஆக்டாஃப்ளூரோசைக்ளோபியூட்டேன் (C4F8)
ஆக்டாஃப்ளூரோசைக்ளோபியூட்டேன் C4F8, வாயு தூய்மை: 99.999%, பெரும்பாலும் உணவு ஏரோசல் உந்துசக்தியாகவும் நடுத்தர வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது பெரும்பாலும் குறைக்கடத்தி PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்துதல். வேதியியல் நீராவி படிவு) செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, C4F8 CF4 அல்லது C2F6 க்கு மாற்றாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, சுத்தம் செய்யும் வாயு மற்றும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை பொறிக்கும் வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. -
நைட்ரிக் ஆக்சைடு (NO)
நைட்ரிக் ஆக்சைடு வாயு என்பது NO என்ற வேதியியல் சூத்திரத்தைக் கொண்ட நைட்ரஜனின் கலவை ஆகும். இது நிறமற்ற, மணமற்ற, நச்சு வாயுவாகும், இது தண்ணீரில் கரையாது. நைட்ரிக் ஆக்சைடு வேதியியல் ரீதியாக மிகவும் வினைபுரியும் தன்மை கொண்டது மற்றும் ஆக்ஸிஜனுடன் வினைபுரிந்து அரிக்கும் வாயுவான நைட்ரஜன் டை ஆக்சைடை (NO₂) உருவாக்குகிறது. -
ஹைட்ரஜன் குளோரைடு (HCl)
ஹைட்ரஜன் குளோரைடு HCL வாயு என்பது கடுமையான வாசனையுடன் கூடிய நிறமற்ற வாயு ஆகும். இதன் நீர் கரைசல் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் என்றும், ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. ஹைட்ரஜன் குளோரைடு முக்கியமாக சாயங்கள், மசாலாப் பொருட்கள், மருந்துகள், பல்வேறு குளோரைடுகள் மற்றும் அரிப்பு தடுப்பான்கள் தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது. -
ஹெக்ஸாஃப்ளூரோபுரோப்பிலீன் (C3F6)
ஹெக்ஸாஃப்ளூரோபுரோப்பிலீன், வேதியியல் சூத்திரம்: C3F6, சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தில் நிறமற்ற வாயுவாகும். இது முக்கியமாக பல்வேறு ஃப்ளோரின் கொண்ட நுண்ணிய இரசாயன பொருட்கள், மருந்து இடைநிலைகள், தீயை அணைக்கும் முகவர்கள் போன்றவற்றை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது, மேலும் ஃப்ளோரின் கொண்ட பாலிமர் பொருட்களை தயாரிக்கவும் பயன்படுத்தலாம். -
அம்மோனியா (NH3)
திரவ அம்மோனியா / நீரற்ற அம்மோனியா என்பது பல்வேறு பயன்பாடுகளைக் கொண்ட ஒரு முக்கியமான இரசாயன மூலப்பொருளாகும். திரவ அம்மோனியாவை குளிரூட்டியாகப் பயன்படுத்தலாம். இது முக்கியமாக நைட்ரிக் அமிலம், யூரியா மற்றும் பிற இரசாயன உரங்களை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுகிறது, மேலும் மருந்து மற்றும் பூச்சிக்கொல்லிகளுக்கான மூலப்பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். பாதுகாப்புத் துறையில், இது ராக்கெட்டுகள் மற்றும் ஏவுகணைகளுக்கான உந்துசக்திகளை தயாரிக்கப் பயன்படுகிறது.
