உலர் செதுக்குதலில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் செதுக்குதல் வாயுக்கள் யாவை?

உலர் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம் முக்கிய செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். உலர் பொறித்தல் வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய மூலப்பொருளாகவும், பிளாஸ்மா பொறித்தலுக்கு ஒரு முக்கியமான வாயு மூலமாகவும் விளங்குகிறது. அதன் செயல்திறன், இறுதிப் பொருளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. இந்தக் கட்டுரை, உலர் பொறித்தல் செயல்முறையில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொறித்தல் வாயுக்கள் யாவை என்பதை முக்கியமாகப் பகிர்ந்து கொள்கிறது.

புளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: அதாவதுகார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (CF4)ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈதேன் (C2F6), டிரைஃப்ளூரோமீதேன் (CHF3) மற்றும் பெர்ஃப்ளூரோபுரோப்பேன் (C3F8) போன்ற வாயுக்கள், சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் சேர்மங்களை அரிக்கும்போது ஆவியாகும் ஃபுளூரைடுகளைத் திறம்பட உருவாக்கி, அதன் மூலம் பொருளை அகற்ற உதவுகின்றன.

குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: குளோரின் (Cl2) போன்றவை,போரான் டிரைகுளோரைடு (BCl3)மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு (SiCl4). குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள், அரித்தல் செயல்முறையின் போது குளோரைடு அயனிகளை வழங்க முடியும், இது அரித்தல் வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுப்புத்திறனை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: புரோமின் (Br2) மற்றும் புரோமின் அயோடைடு (IBr) போன்றவை. புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள், சில அரித்தல் செயல்முறைகளில், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற கடினமான பொருட்களை அரிக்கும்போது, ​​சிறந்த அரித்தல் செயல்திறனை வழங்க முடியும்.

நைட்ரஜன் மற்றும் ஆக்ஸிஜன் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: அதாவது நைட்ரஜன் டிரைஃபுளோரைடு (NF3) மற்றும் ஆக்ஸிஜன் (O2). இந்த வாயுக்கள் பொதுவாக அரித்தல் செயல்முறையின் தேர்ந்தெடுப்புத்தன்மையையும் திசைத்தன்மையையும் மேம்படுத்துவதற்காக, வினை நிலைமைகளைச் சரிசெய்யப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பிளாஸ்மா அரித்தலின் போது, ​​இந்த வாயுக்கள் இயற்பியல் சிதறல் மற்றும் வேதியியல் வினைகளின் கலவையின் மூலம் பொருளின் மேற்பரப்பைத் துல்லியமாக அரிக்கின்றன. அரிக்கும் வாயுவின் தேர்வு, அரிக்கப்பட வேண்டிய பொருளின் வகை, அரித்தலின் தேர்ந்தெடுப்புத் தேவைகள் மற்றும் விரும்பிய அரித்தல் வீதம் ஆகியவற்றைப் பொறுத்தது.