உலர் செதுக்கலில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் செதுக்குதல் வாயுக்கள் யாவை?

உலர் செதுக்கல் தொழில்நுட்பம் முக்கிய செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். உலர் செதுக்கல் வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய பொருளாகவும், பிளாஸ்மா செதுக்கலுக்கான ஒரு முக்கியமான வாயு மூலமாகவும் உள்ளது. அதன் செயல்திறன் இறுதி தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இந்த கட்டுரை முக்கியமாக உலர் செதுக்கல் செயல்பாட்டில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் செதுக்கல் வாயுக்கள் எவை என்பதைப் பகிர்ந்து கொள்கிறது.

ஃப்ளோரின் சார்ந்த வாயுக்கள்: போன்றவைகார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4), ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஎத்தேன் (C2F6), ட்ரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3) மற்றும் பெர்ஃப்ளூரோபுரோபேன் (C3F8). இந்த வாயுக்கள் சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் சேர்மங்களை பொறிக்கும்போது ஆவியாகும் ஃப்ளூரைடுகளை திறம்பட உருவாக்கி, அதன் மூலம் பொருள் நீக்கத்தை அடைகின்றன.

குளோரின் சார்ந்த வாயுக்கள்: குளோரின் (Cl2),போரான் டிரைகுளோரைடு (BCl3)மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு (SiCl4). குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் செதுக்குதல் செயல்பாட்டின் போது குளோரைடு அயனிகளை வழங்க முடியும், இது செதுக்குதல் வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுப்பையும் மேம்படுத்த உதவுகிறது.

புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: புரோமின் (Br2) மற்றும் புரோமின் அயோடைடு (IBr) போன்றவை. புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் சில செதுக்குதல் செயல்முறைகளில், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற கடினமான பொருட்களை செதுக்கும்போது சிறந்த செதுக்குதல் செயல்திறனை வழங்க முடியும்.

நைட்ரஜன் சார்ந்த மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சார்ந்த வாயுக்கள்: நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3) மற்றும் ஆக்ஸிஜன் (O2) போன்றவை. இந்த வாயுக்கள் பொதுவாக செதுக்கலின் தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மை மற்றும் திசையை மேம்படுத்துவதற்காக செதுக்குதல் செயல்பாட்டில் எதிர்வினை நிலைமைகளை சரிசெய்யப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த வாயுக்கள் பிளாஸ்மா செதுக்கலின் போது இயற்பியல் தெளித்தல் மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளின் கலவையின் மூலம் பொருள் மேற்பரப்பில் துல்லியமான செதுக்கலை அடைகின்றன. செதுக்குதல் வாயுவின் தேர்வு பொறிக்கப்பட வேண்டிய பொருளின் வகை, செதுக்கலின் தேர்ந்தெடுக்கும் தேவைகள் மற்றும் விரும்பிய செதுக்குதல் வீதத்தைப் பொறுத்தது.