உலர்ந்த பொறிப்பில் பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் பொறிப்பு வாயுக்கள் யாவை?

உலர் பொறித்தல் தொழில்நுட்பம் முக்கிய செயல்முறைகளில் ஒன்றாகும். உலர் பொறித்தல் வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் ஒரு முக்கிய பொருள் மற்றும் பிளாஸ்மா பொறிப்புக்கு ஒரு முக்கியமான எரிவாயு மூலமாகும். அதன் செயல்திறன் இறுதி தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை நேரடியாக பாதிக்கிறது. இந்த கட்டுரை முக்கியமாக உலர்ந்த பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் பொறிப்பு வாயுக்களை பகிர்ந்து கொள்கிறது.

ஃவுளூரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: போன்றவைகார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (சிஎஃப் 4). சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் சேர்மங்களை பொறிக்கும்போது இந்த வாயுக்கள் திறம்பட கொந்தளிப்பான ஃவுளூரைடுகளை உருவாக்கலாம், இதனால் பொருள் அகற்றலை அடையலாம்.

குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: குளோரின் (சி.எல் 2) போன்றவை,போரான் ட்ரைக்ளோரைடு (பி.சி.எல் 3)மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராக்ளோரைடு (SICL4). குளோரின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது குளோரைடு அயனிகளை வழங்க முடியும், இது பொறித்தல் வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுப்பதை மேம்படுத்த உதவுகிறது.

புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: புரோமின் (பிஆர் 2) மற்றும் புரோமின் அயோடைடு (ஐபிஆர்) போன்றவை. புரோமின் அடிப்படையிலான வாயுக்கள் சில பொறித்தல் செயல்முறைகளில் சிறந்த பொறித்தல் செயல்திறனை வழங்க முடியும், குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு போன்ற கடினமான பொருட்களை பொறிக்கும்போது.

நைட்ரஜன் அடிப்படையிலான மற்றும் ஆக்ஸிஜன் அடிப்படையிலான வாயுக்கள்: நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3) மற்றும் ஆக்ஸிஜன் (O2) போன்றவை. இந்த வாயுக்கள் வழக்கமாக பொறித்தல் செயல்பாட்டில் எதிர்வினை நிலைமைகளை சரிசெய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த வாயுக்கள் பிளாஸ்மா பொறிப்பின் போது உடல் ரீதியான ஸ்பட்டரிங் மற்றும் வேதியியல் எதிர்வினைகளின் கலவையின் மூலம் பொருள் மேற்பரப்பின் துல்லியமான பொறிப்பை அடைகின்றன. பொறித்தல் வாயுவின் தேர்வு பொறிக்க வேண்டிய பொருள் வகை, பொறிப்பின் தேர்ந்தெடுப்பு தேவைகள் மற்றும் விரும்பிய பொறிப்பு வீதத்தைப் பொறுத்தது.