மின்னணுசிறப்பு வாயுக்கள்சிறப்பு வாயுக்களின் ஒரு முக்கிய கிளையாகும். அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஏறக்குறைய ஒவ்வொரு இணைப்பிலும் ஊடுருவி, மிகப்பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், தட்டையான திரை காட்சி சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற மின்னணுத் தொழில்களின் உற்பத்திக்கு இன்றியமையாத மூலப்பொருட்களாக விளங்குகின்றன.

குறைக்கடத்தித் தொழில்நுட்பத்தில், ஃபுளூரின் கலந்த வாயுக்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தற்போது, ​​உலகளாவிய மின்னணு வாயு சந்தையில், ஃபுளூரின் கலந்த மின்னணு வாயுக்கள் மொத்தத்தில் சுமார் 30% பங்கைக் கொண்டுள்ளன. மின்னணு தகவல் பொருட்கள் துறையில், ஃபுளூரின் கலந்த மின்னணு வாயுக்கள் சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அவை முக்கியமாக சுத்தம் செய்யும் முகவர்கள் மற்றும் அரிக்கும் முகவர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் கலப்புப் பொருட்கள், படலம் உருவாக்கும் பொருட்கள் போன்றவற்றாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். இந்தக் கட்டுரையில், பொதுவான ஃபுளூரின் கலந்த வாயுக்களைப் பற்றி ஆசிரியர் உங்களுக்கு விளக்குவார்.

பின்வருபவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் புளோரின் அடங்கிய வாயுக்கள் ஆகும்.

நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3): இது படிவுகளைச் சுத்தம் செய்வதற்கும் அகற்றுவதற்கும் பயன்படும் ஒரு வாயு ஆகும். பொதுவாக இது வினை அறைகள் மற்றும் உபகரணங்களின் மேற்பரப்புகளைச் சுத்தம் செய்யப் பயன்படுகிறது.

சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6)ஆக்சைடு படிதல் செயல்முறைகளிலும், மின்காப்பு ஊடகங்களை நிரப்புவதற்கான மின்காப்பு வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஃபுளூரினேற்றும் காரணி.

ஹைட்ரஜன் ஃபுளோரைடு (HF): சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் உள்ள ஆக்சைடுகளை அகற்றவும், சிலிக்கான் மற்றும் பிற பொருட்களை அரிக்கும் ஒரு அரிப்பான் ஆகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

நைட்ரஜன் ஃபுளோரைடு (NF): சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiN) மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) போன்ற பொருட்களை அரிப்பதற்குப் பயன்படுகிறது.

டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3) மற்றும்டெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் (CF4)சிலிக்கான் ஃபுளூரைடு மற்றும் அலுமினியம் ஃபுளூரைடு போன்ற ஃபுளூரைடுப் பொருட்களை அரிப்பதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

இருப்பினும், ஃபுளூரின் அடங்கிய வாயுக்களால் நச்சுத்தன்மை, அரிக்கும் தன்மை மற்றும் எளிதில் தீப்பற்றும் தன்மை உள்ளிட்ட சில அபாயங்கள் உள்ளன.

நச்சுத்தன்மை

ஃபுளூரின் அடங்கிய சில வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தவை. எடுத்துக்காட்டாக, ஹைட்ரஜன் ஃபுளூரைடு (HF) வாயுவின் ஆவியானது, சருமத்திற்கும் சுவாசப் பாதைக்கும் மிகுந்த எரிச்சலை ஏற்படுத்துவதோடு, மனித ஆரோக்கியத்திற்கும் தீங்கு விளைவிக்கிறது.

அரிப்புத்தன்மை

ஹைட்ரஜன் ஃபுளோரைடு மற்றும் சில ஃபுளோரைடுகள் அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை. அவை தோல், கண்கள் மற்றும் சுவாசப் பாதைக்குக் கடுமையான பாதிப்பை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

தீப்பற்றக்கூடிய தன்மை

சில ஃபுளோரைடுகள் எளிதில் தீப்பற்றக்கூடியவை. அவை காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் அல்லது நீருடன் வினைபுரிந்து, கடுமையான வெப்பத்தையும் நச்சு வாயுக்களையும் வெளியிடுகின்றன. இதனால் தீவிபத்து அல்லது வெடிப்பு ஏற்படக்கூடும்.

உயர் அழுத்த ஆபத்து

சில ஃபுளூரினேட்டட் வாயுக்கள் உயர் அழுத்தத்தில் வெடிக்கும் தன்மை கொண்டவை, எனவே அவற்றைப் பயன்படுத்தும்போதும் சேமிக்கும்போதும் சிறப்பு கவனம் தேவை.

சுற்றுச்சூழலில் ஏற்படும் தாக்கம்

புளோரின் அடங்கிய வாயுக்கள் அதிக வளிமண்டல ஆயுட்காலம் மற்றும் புவி வெப்பமயமாதல் செயல்திறன் (GWP) மதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன. இவை வளிமண்டல ஓசோன் படலத்தில் அழிவுகரமான விளைவை ஏற்படுத்துவதோடு, புவி வெப்பமயமாதல் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாட்டையும் உண்டாக்கக்கூடும்.

மின்னணுவியல் போன்ற வளர்ந்து வரும் துறைகளில் வாயுக்களின் பயன்பாடு தொடர்ந்து அதிகரித்து வருவதால், தொழில்துறை வாயுக்களுக்குப் பெரும் புதிய தேவை உருவாகியுள்ளது. அடுத்த சில ஆண்டுகளில் சீனப் பெருநிலப்பரப்பில் குறைக்கடத்திகள் மற்றும் காட்சிப் பலகைகள் போன்ற முக்கிய மின்னணு பாகங்களின் பெரும் புதிய உற்பத்தித் திறன் மற்றும் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களின் இறக்குமதி மாற்றீட்டிற்கான வலுவான தேவை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், உள்நாட்டு மின்னணு வாயுத் தொழில் ஒரு உயர் வளர்ச்சி விகிதத்தைக் காணும்.