மின்னணுசிறப்பு வாயுக்கள்சிறப்பு வாயுக்களின் முக்கியமான கிளை. அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் ஒவ்வொரு இணைப்பிலும் ஊடுருவுகின்றன மற்றும் அல்ட்ரா-பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், பிளாட் பேனல் காட்சி சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற மின்னணு தொழில்களின் உற்பத்திக்கு இன்றியமையாத மூலப்பொருட்கள்.

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில், ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தற்போது, ​​உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தையில், ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் மொத்தத்தில் 30% ஆகும். மின்னணு தகவல் பொருட்களின் துறையில் சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களின் முக்கிய அங்கமாக ஃவுளூரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் உள்ளன. அவை முக்கியமாக துப்புரவு முகவர்கள் மற்றும் பொறிக்கும் முகவர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் டோபண்டுகள், திரைப்படத்தை உருவாக்கும் பொருட்கள் போன்றவற்றாகவும் பயன்படுத்தலாம். இந்த கட்டுரையில், பொதுவான ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்களைப் புரிந்துகொள்ள ஆசிரியர் உங்களை அழைத்துச் செல்வார்.

பின்வருபவை பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள்

நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3): வைப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கும் அகற்றுவதற்கும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு வாயு, பொதுவாக எதிர்வினை அறைகள் மற்றும் உபகரண மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்ய பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6): ஆக்சைடு படிவு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஃப்ளோரினேட்டிங் முகவர் மற்றும் இன்சுலேடிங் மீடியாவை நிரப்புவதற்கான ஒரு இன்சுலேடிங் வாயுவாக.

ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (எச்.எஃப்): சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் இருந்து ஆக்சைடுகளை அகற்றவும், சிலிக்கான் மற்றும் பிற பொருட்களை பொறிப்பதற்கான ஒரு பொறிப்பாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

நைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (NF): சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SIN) மற்றும் அலுமினிய நைட்ரைடு (ALN) போன்ற பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

ட்ரிஃப்ளூரோமீதேன் (CHF3) மற்றும்டெட்ராஃப்ளூரோமீதேன் (சி.எஃப் 4): சிலிக்கான் ஃவுளூரைடு மற்றும் அலுமினிய ஃவுளூரைடு போன்ற ஃவுளூரைடு பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

இருப்பினும், ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை, அரிக்கும் தன்மை மற்றும் எரியக்கூடிய தன்மை உள்ளிட்ட சில ஆபத்துகளைக் கொண்டுள்ளன.

நச்சுத்தன்மை

சில ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (எச்.எஃப்) போன்ற நச்சுத்தன்மையுள்ளவை, அதன் நீராவி தோல் மற்றும் சுவாச மண்டலத்திற்கு மிகவும் எரிச்சலூட்டுகிறது மற்றும் மனித ஆரோக்கியத்திற்கு தீங்கு விளைவிக்கும்.

அரிப்பு

ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு மற்றும் சில ஃவுளூரைடுகள் மிகவும் அரிக்கும் மற்றும் தோல், கண்கள் மற்றும் சுவாச மண்டலங்களுக்கு கடுமையான சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.

எரியக்கூடிய தன்மை

சில ஃவுளூரைடுகள் எரியக்கூடியவை மற்றும் தீவிர வெப்பம் மற்றும் நச்சு வாயுக்களை வெளியிடுவதற்கு காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் அல்லது தண்ணீருடன் வினைபுரியும், அவை தீ அல்லது வெடிப்பை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

உயர் அழுத்த ஆபத்து

சில ஃவுளூரைனேட்டட் வாயுக்கள் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் வெடிக்கும் மற்றும் பயன்படுத்தப்பட்டு சேமிக்கப்படும் போது சிறப்பு கவனிப்பு தேவைப்படுகிறது.

சுற்றுச்சூழலில் தாக்கம்

ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் அதிக வளிமண்டல வாழ்நாள் மற்றும் ஜி.டபிள்யூ.பி மதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை வளிமண்டல ஓசோன் அடுக்கில் ஒரு அழிவுகரமான விளைவைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அவை புவி வெப்பமடைதல் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

எலக்ட்ரானிக்ஸ் போன்ற வளர்ந்து வரும் துறைகளில் வாயுக்களின் பயன்பாடு தொடர்ந்து ஆழமடைந்து, தொழில்துறை வாயுக்களுக்கு புதிய அளவிலான புதிய தேவையை கொண்டு வருகிறது. அடுத்த சில ஆண்டுகளில் சீனாவின் பிரதான நிலப்பரப்பில் குறைக்கடத்திகள் மற்றும் காட்சி பேனல்கள் போன்ற முக்கிய மின்னணு கூறுகளின் புதிய உற்பத்தி திறன் மற்றும் மின்னணு வேதியியல் பொருட்களை இறக்குமதி செய்வதற்கான வலுவான தேவை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், உள்நாட்டு மின்னணு எரிவாயு தொழில் அதிக வளர்ச்சி விகிதத்தில் ஈடுபடும்.