மின்னணுவியல்சிறப்பு வாயுக்கள்சிறப்பு வாயுக்களின் ஒரு முக்கிய கிளையாகும். அவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு இணைப்பையும் ஊடுருவி, மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், தட்டையான பேனல் காட்சி சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற மின்னணு தொழில்களின் உற்பத்திக்கு இன்றியமையாத மூலப்பொருட்களாகும்.

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில், ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தற்போது, ​​உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தையில், ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் மொத்தத்தில் சுமார் 30% ஆகும். மின்னணு தகவல் பொருட்கள் துறையில் சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாக ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் உள்ளன. அவை முக்கியமாக துப்புரவு முகவர்கள் மற்றும் பொறித்தல் முகவர்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் டோபண்டுகள், படலத்தை உருவாக்கும் பொருட்கள் போன்றவற்றாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். இந்தக் கட்டுரையில், பொதுவான ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்களைப் புரிந்துகொள்ள ஆசிரியர் உங்களை அழைத்துச் செல்வார்.

பின்வருபவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள்.

நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3): படிவுகளை சுத்தம் செய்வதற்கும் அகற்றுவதற்கும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு வாயு, பொதுவாக எதிர்வினை அறைகள் மற்றும் உபகரண மேற்பரப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சல்பர் ஹெக்சாஃப்ளூரைடு (SF6): ஆக்சைடு படிவு செயல்முறைகளிலும், மின்கடத்தா ஊடகங்களை நிரப்புவதற்கான மின்கடத்தா வாயுவாகவும் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஃப்ளோரினேட்டிங் முகவர்.

ஹைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு (HF): சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் இருந்து ஆக்சைடுகளை அகற்றவும், சிலிக்கான் மற்றும் பிற பொருட்களை செதுக்குவதற்கான ஒரு எச்சண்டாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

நைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு (NF): சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiN) மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) போன்ற பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3) மற்றும்டெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் (CF4): சிலிக்கான் ஃப்ளோரைடு மற்றும் அலுமினிய ஃப்ளோரைடு போன்ற ஃப்ளோரைடு பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

இருப்பினும், ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை, அரிக்கும் தன்மை மற்றும் எரியக்கூடிய தன்மை உள்ளிட்ட சில ஆபத்துகளைக் கொண்டுள்ளன.

நச்சுத்தன்மை

ஹைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு (HF) போன்ற சில ஃப்ளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தவை, இதன் நீராவி தோல் மற்றும் சுவாசக்குழாய்க்கு மிகவும் எரிச்சலூட்டும் மற்றும் மனித ஆரோக்கியத்திற்கு தீங்கு விளைவிக்கும்.

அரிக்கும் தன்மை

ஹைட்ரஜன் ஃப்ளோரைடு மற்றும் சில ஃப்ளோரைடுகள் மிகவும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை மற்றும் தோல், கண்கள் மற்றும் சுவாசக்குழாய்க்கு கடுமையான சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.

எரியக்கூடிய தன்மை

சில ஃப்ளோரைடுகள் எரியக்கூடியவை, மேலும் காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் அல்லது தண்ணீருடன் வினைபுரிந்து கடுமையான வெப்பத்தையும் நச்சு வாயுக்களையும் வெளியிடுகின்றன, இது தீ அல்லது வெடிப்பை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

உயர் அழுத்த அபாயம்

சில ஃப்ளோரினேட்டட் வாயுக்கள் உயர் அழுத்தத்தின் கீழ் வெடிக்கும் தன்மை கொண்டவை மற்றும் பயன்படுத்தப்படும்போதும் சேமிக்கப்படும்போதும் சிறப்பு கவனம் தேவை.

சுற்றுச்சூழலில் தாக்கம்

ஃப்ளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் அதிக வளிமண்டல ஆயுட்காலம் மற்றும் GWP மதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை வளிமண்டல ஓசோன் படலத்தில் அழிவுகரமான விளைவைக் கொண்டிருக்கின்றன மற்றும் புவி வெப்பமடைதல் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

மின்னணுவியல் போன்ற வளர்ந்து வரும் துறைகளில் வாயுக்களின் பயன்பாடு தொடர்ந்து ஆழமடைந்து வருகிறது, இது தொழில்துறை வாயுக்களுக்கான புதிய தேவையை அதிக அளவில் கொண்டுவருகிறது. அடுத்த சில ஆண்டுகளில் சீனாவின் பிரதான நிலப்பரப்பில் குறைக்கடத்திகள் மற்றும் காட்சிப் பலகைகள் போன்ற முக்கிய மின்னணு கூறுகளின் புதிய உற்பத்தித் திறன் அதிக அளவில் இருக்கும், அதே போல் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களின் இறக்குமதி மாற்றீட்டிற்கான வலுவான தேவையும் இதன் அடிப்படையில், உள்நாட்டு மின்னணு எரிவாயுத் தொழில் அதிக வளர்ச்சி விகிதத்திற்கு வழிவகுக்கும்.