மின்னணுசிறப்பு வாயுக்கள்சிறப்பு வாயுக்களின் முக்கிய கிளையாகும். அவை செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியின் கிட்டத்தட்ட எல்லா இணைப்புகளிலும் ஊடுருவிச் செல்கின்றன மற்றும் அதி-பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள், பிளாட் பேனல் காட்சி சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் போன்ற மின்னணுத் தொழில்களின் உற்பத்திக்கு தவிர்க்க முடியாத மூலப்பொருட்களாகும்.

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில், ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. தற்போது, ​​உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தையில், ஃவுளூரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் மொத்தத்தில் சுமார் 30% ஆகும். ஃவுளூரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்கள் மின்னணு தகவல் பொருட்கள் துறையில் சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களின் முக்கிய அங்கமாகும். அவை முக்கியமாக துப்புரவு முகவர்கள் மற்றும் எச்சிங் ஏஜெண்டுகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் டோபண்டுகளாகவும், திரைப்படத்தை உருவாக்கும் பொருட்கள் போன்றவற்றாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். இந்தக் கட்டுரையில், பொதுவான ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்களைப் புரிந்துகொள்ள ஆசிரியர் உங்களை அழைத்துச் செல்வார்.

பின்வருபவை புளோரின் கொண்ட வாயுக்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன

நைட்ரஜன் ட்ரைஃபுளோரைடு (NF3): பொதுவாக வினை அறைகள் மற்றும் உபகரணப் பரப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு வாயு, வைப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கும் அகற்றுவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சல்பர் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (SF6): ஆக்சைடு படிவு செயல்முறைகளில் மற்றும் இன்சுலேடிங் மீடியாவை நிரப்புவதற்கு இன்சுலேடிங் வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஃபுளோரினேட்டிங் ஏஜெண்ட்.

ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (HF): சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் இருந்து ஆக்சைடுகளை அகற்றவும், சிலிக்கான் மற்றும் பிற பொருட்களை செதுக்குவதற்கும் பயன்படுகிறது.

நைட்ரஜன் புளோரைடு (NF): சிலிக்கான் நைட்ரைடு (SiN) மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) போன்ற பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

டிரிஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3) மற்றும்டெட்ராபுளோரோமீத்தேன் (CF4): சிலிக்கான் ஃவுளூரைடு மற்றும் அலுமினியம் புளோரைடு போன்ற புளோரைடு பொருட்களை பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.

இருப்பினும், ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை, அரிப்பு மற்றும் எரியக்கூடிய தன்மை உள்ளிட்ட சில ஆபத்துக்களைக் கொண்டுள்ளன.

நச்சுத்தன்மை

ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (HF) போன்ற சில ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் நச்சுத்தன்மை கொண்டவை, இதன் நீராவி தோல் மற்றும் சுவாசக் குழாயில் அதிக எரிச்சலை ஏற்படுத்துகிறது மற்றும் மனித ஆரோக்கியத்திற்கு தீங்கு விளைவிக்கும்.

அரிக்கும் தன்மை

ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு மற்றும் சில ஃவுளூரைடுகள் மிகவும் அரிக்கும் தன்மை கொண்டவை மற்றும் தோல், கண்கள் மற்றும் சுவாசக்குழாய்க்கு கடுமையான சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.

எரியக்கூடிய தன்மை

சில ஃவுளூரைடுகள் எரியக்கூடியவை மற்றும் காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் அல்லது தண்ணீருடன் வினைபுரிந்து கடுமையான வெப்பம் மற்றும் நச்சு வாயுக்களை வெளியிடுகின்றன, இது தீ அல்லது வெடிப்பை ஏற்படுத்தலாம்.

உயர் அழுத்த ஆபத்து

சில ஃவுளூரினேட்டட் வாயுக்கள் அதிக அழுத்தத்தின் கீழ் வெடிக்கும் மற்றும் பயன்படுத்தப்படும் மற்றும் சேமிக்கப்படும் போது சிறப்பு கவனிப்பு தேவைப்படுகிறது.

சுற்றுச்சூழலில் தாக்கம்

ஃவுளூரின் கொண்ட வாயுக்கள் அதிக வளிமண்டல வாழ்நாள் மற்றும் GWP மதிப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, அவை வளிமண்டல ஓசோன் படலத்தில் அழிவுகரமான விளைவைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் புவி வெப்பமடைதல் மற்றும் சுற்றுச்சூழல் மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தக்கூடும்.

எலக்ட்ரானிக்ஸ் போன்ற வளர்ந்து வரும் துறைகளில் வாயுக்களின் பயன்பாடு தொடர்ந்து ஆழமாகி, தொழில்துறை வாயுக்களுக்கான புதிய தேவையை அதிக அளவில் கொண்டு வருகிறது. அடுத்த சில ஆண்டுகளில் செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்கள் போன்ற முக்கிய எலக்ட்ரானிக் கூறுகளின் புதிய உற்பத்தித் திறனின் அடிப்படையில், அடுத்த சில ஆண்டுகளில் சீனாவின் பிரதான நிலப்பரப்பு, அத்துடன் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களை இறக்குமதி செய்வதற்கான வலுவான தேவை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், உள்நாட்டு மின்னணு எரிவாயு தொழில் தொடங்கும். உயர் வளர்ச்சி விகிதம்.