நமது நாட்டின் குறைக்கடத்தித் தொழிலும், பேனல் தொழிலும் உயர் மட்ட செழிப்பைப் பேணி வருகின்றன. பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் பதப்படுத்துதலில் இன்றியமையாததும், அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படுவதுமான ஒரு சிறப்பு மின்னணு வாயுவான நைட்ரஜன் டிரைஃபுளோரைடு, ஒரு பரந்த சந்தை வாய்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.
பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஃபுளூரின் அடங்கிய சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களில் அடங்குபவை:சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (CF4)டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3), நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3), ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈத்தேன் (C2F6) மற்றும் ஆக்டாஃப்ளூரோபுரோப்பேன் (C3F8). ஹைட்ரஜன் ஃப்ளூரைடு-ஃப்ளூரைடு வாயு உயர் ஆற்றல் வேதியியல் லேசர்களுக்கு, நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3) முக்கியமாக ஒரு ஃப்ளூரின் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. H2-O2 மற்றும் F2 இடையேயான வினை ஆற்றலின் பயனுள்ள பகுதியை (சுமார் 25%) லேசர் கதிர்வீச்சு மூலம் வெளியிட முடியும், எனவே வேதியியல் லேசர்களில் HF-OF லேசர்கள் மிகவும் நம்பிக்கைக்குரிய லேசர்களாகும்.
நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு, நுண்மின்னணுவியல் துறையில் ஒரு மிகச்சிறந்த பிளாஸ்மா பொறிப்பு வாயுவாகும். சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடைப் பொறிப்பதற்கு, கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் ஆக்ஸிஜன் கலவையை விட நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு அதிக பொறிப்பு வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் திறனையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது மேற்பரப்பை மாசுபடுத்துவதில்லை. குறிப்பாக 1.5 மைக்ரோமீட்டருக்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுப் பொருட்களைப் பொறிக்கும்போது, நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு மிகச்சிறந்த பொறிப்பு வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் திறனையும் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விட்டுச் செல்வதில்லை, மேலும் இது ஒரு மிகச்சிறந்த சுத்தப்படுத்தும் பொருளாகவும் உள்ளது. நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுவியல் துறையின் பெருமளவிலான வளர்ச்சியுடன், இதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும்.
ஃபுளூரின் அடங்கிய ஒரு வகை சிறப்பு வாயுவான நைட்ரஜன் டிரைஃபுளூரைடு (NF3), சந்தையில் உள்ள மிகப்பெரிய மின்னணு சிறப்பு வாயுத் தயாரிப்பாகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, ஆக்ஸிஜனை விட அதிக வினைத்திறன் கொண்டது, ஃபுளூரினை விட அதிக நிலைத்தன்மை கொண்டது, மேலும் உயர் வெப்பநிலையில் கையாளுவதற்கு எளிதானது.
நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறிப்பு வாயுவாகவும், வினை அறை சுத்தப்படுத்தும் பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது குறைக்கடத்தி சில்லுகள், தட்டையான திரை காட்சிகள், ஒளியிழைகள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்ற உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஏற்றது.
ஃபுளூரின் கொண்ட மற்ற மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது, நைட்ரஜன் டிரைஃபுளூரைடு விரைவான வினைத்திறன் மற்றும் அதிக செயல்திறன் போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. குறிப்பாக, சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களை அரிக்கும்போது, இது அதிக அரிப்பு வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. மேலும், இது அரிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விட்டுச் செல்வதில்லை. அத்துடன், இது ஒரு மிகச் சிறந்த சுத்தப்படுத்தும் காரணியாகவும் உள்ளது. இது மேற்பரப்பை மாசுபடுத்தாததுடன், செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளையும் பூர்த்தி செய்யக்கூடியது.
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர் 26, 2024
