நமது நாட்டின் குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் பேனல் தொழில் உயர் மட்ட செழிப்பைப் பராமரிக்கிறது. பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் இன்றியமையாத மற்றும் மிகப்பெரிய அளவிலான சிறப்பு மின்னணு வாயுவாக நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பரந்த சந்தை இடத்தைக் கொண்டுள்ளது.
பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஃப்ளோரின் கொண்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுக்கள் பின்வருமாறு:சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4), ட்ரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3), நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3), ஹெக்ஸாஃப்ளூரோமீத்தேன் (C2F6) மற்றும் ஆக்டாஃப்ளூரோபுரோபேன் (C3F8). நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3) முக்கியமாக ஹைட்ரஜன் ஃப்ளூரைடு-ஃப்ளூரைடு வாயு உயர் ஆற்றல் கொண்ட வேதியியல் லேசர்களுக்கு ஃப்ளூரின் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. H2-O2 மற்றும் F2 க்கு இடையிலான எதிர்வினை ஆற்றலின் பயனுள்ள பகுதியை (சுமார் 25%) லேசர் கதிர்வீச்சு மூலம் வெளியிட முடியும், எனவே HF-OF லேசர்கள் வேதியியல் லேசர்களில் மிகவும் நம்பிக்கைக்குரிய லேசர்களாகும்.
நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு என்பது நுண் மின்னணுவியல் துறையில் ஒரு சிறந்த பிளாஸ்மா பொறிக்கும் வாயுவாகும். சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடை பொறிப்பதற்கு, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் ஆக்ஸிஜன் கலவையை விட அதிக பொறிக்கும் வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுப்பையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பில் எந்த மாசுபாட்டையும் ஏற்படுத்தாது. குறிப்பாக 1.5um க்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்றுப் பொருட்களை பொறிக்கும் போது, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு மிகச் சிறந்த பொறிக்கும் வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுப்பையும் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விடாது, மேலும் இது ஒரு சிறந்த துப்புரவு முகவராகவும் உள்ளது. நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுத் துறையின் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சியுடன், அதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும்.
ஃவுளூரின் கொண்ட சிறப்பு வாயு வகையாக, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3) சந்தையில் மிகப்பெரிய மின்னணு சிறப்பு வாயு தயாரிப்பு ஆகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, ஆக்ஸிஜனை விட அதிக செயலில் உள்ளது, ஃவுளூரைனை விட நிலையானது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கையாள எளிதானது.
நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா எட்ச்சிங் வாயுவாகவும், வினை அறை சுத்தம் செய்யும் முகவராகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சில்லுகள், தட்டையான பேனல் காட்சிகள், ஒளியியல் இழைகள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்ற உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஏற்றது.
மற்ற ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு வேகமான எதிர்வினை மற்றும் அதிக செயல்திறன் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களை பொறிப்பதில், இது அதிக பொறிப்பு வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் திறனையும் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விடாது, மேலும் இது ஒரு சிறந்த துப்புரவு முகவராகவும் உள்ளது, மேலும் இது மேற்பரப்பை மாசுபடுத்தாதது மற்றும் செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-26-2024
