நமது நாட்டின் குறைக்கடத்தி தொழில் மற்றும் குழு தொழில் ஆகியவை அதிக அளவிலான செழிப்பைப் பராமரிக்கின்றன. நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் இன்றியமையாத மற்றும் மிகப்பெரிய அளவிலான சிறப்பு மின்னணு வாயுவாக, பரந்த சந்தை இடத்தைக் கொண்டுள்ளது.
பொதுவாக பயன்படுத்தப்படும் ஃவுளூரின் கொண்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுக்கள் அடங்கும்சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (சிஎஃப் 4). நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF3) முக்கியமாக ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு-ஃப்ளூரைடு வாயு உயர் ஆற்றல் வேதியியல் ஒளிக்கதிர்களுக்கு ஒரு ஃவுளூரின் மூலமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. H2-O2 மற்றும் F2 க்கு இடையிலான எதிர்வினை ஆற்றலின் பயனுள்ள பகுதி (சுமார் 25%) லேசர் கதிர்வீச்சால் வெளியிடப்படலாம், எனவே HF-OF ஒளிக்கதிர்கள் ரசாயன ஒளிக்கதிர்களில் மிகவும் நம்பிக்கைக்குரிய ஒளிக்கதிர்கள்.
நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் ஒரு சிறந்த பிளாஸ்மா பொறிக்கும் வாயு ஆகும். சிலிக்கான் மற்றும் சிலிக்கான் நைட்ரைடை பொறிப்பதற்கு, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு மற்றும் ஆக்ஸிஜனின் கலவையை விட அதிக பொறிப்பு வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுப்பையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பில் மாசு இல்லை. குறிப்பாக 1.5UM க்கும் குறைவான தடிமன் கொண்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்று பொருட்களை பொறிப்பதில், நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு மிகச் சிறந்த பொறிப்பு வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுப்பைக் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விடாது, மேலும் இது ஒரு நல்ல துப்புரவு முகவராகும். நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுவியல் துறையின் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சியுடன், அதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும்.
ஃப்ளோரின் கொண்ட சிறப்பு வாயுவாக, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (என்எஃப் 3) சந்தையில் மிகப்பெரிய மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு உற்பத்தியாகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, ஆக்ஸிஜனை விட செயலில் உள்ளது, ஃப்ளோரினை விட நிலையானது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் கையாள எளிதானது.
நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயு மற்றும் எதிர்வினை அறை துப்புரவு முகவராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது குறைக்கடத்தி சில்லுகள், பிளாட் பேனல் காட்சிகள், ஆப்டிகல் இழைகள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்ற உற்பத்தி துறைகளுக்கு ஏற்றது.
மற்ற ஃப்ளோரின் கொண்ட எலக்ட்ரானிக் வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு வேகமான எதிர்வினை மற்றும் அதிக செயல்திறனின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களை பொறிப்பதில், இது ஒரு உயர் பொறித்தல் வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது செதுக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்தவொரு எச்சத்தையும் விடாமல், செயலாக்கத்தை சுத்தம் செய்யக்கூடிய செயலாக்கத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது செயலாக்கத்தை செயலாக்குகிறது.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர் -26-2024
