கூறு | 99.9999% | அலகு |
ஆக்ஸிஜன் (Ar) | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
நைட்ரஜன் | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
ஹைட்ரஜன் | ≤20 | பிபிஎம்வி |
ஹீலியம் | ≤10 | பிபிஎம்வி |
CO+CO2 | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
டிஎச்சி | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
குளோரோசிலேன்ஸ் | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
டிசிலோக்சேன் | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
டிசிலேன் | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
ஈரப்பதம் (H2O) | ≤0.1 | பிபிஎம்வி |
சிலேன் என்பது சிலிக்கான் மற்றும் ஹைட்ரஜனின் கலவை ஆகும். இது மோனோசிலேன் (SiH4), டிசிலேன் (Si2H6) மற்றும் சில உயர்-நிலை சிலிக்கான்-ஹைட்ரஜன் சேர்மங்கள் உள்ளிட்ட தொடர்ச்சியான சேர்மங்களுக்கான பொதுவான சொல். அவற்றில், மோனோசிலேன் மிகவும் பொதுவானது, சில சமயங்களில் சுருக்கமாக சிலேன் என்று குறிப்பிடப்படுகிறது. சிலேன் என்பது பூண்டின் அருவருப்பான வாசனையுடன் கூடிய நிறமற்ற வாயு. தண்ணீரில் கரையக்கூடியது, எத்தனால், ஈதர், பென்சீன், குளோரோஃபார்ம், சிலிக்கான் குளோரோஃபார்ம் மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு ஆகியவற்றில் கிட்டத்தட்ட கரையாதது. சிலேன்களின் வேதியியல் பண்புகள் ஆல்கேன்களை விட மிகவும் செயலில் உள்ளன மற்றும் எளிதில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகின்றன. காற்றோடு தொடர்பு கொள்ளும்போது தன்னிச்சையான எரிப்பு ஏற்படலாம். இது 25°C க்கும் குறைவான நைட்ரஜனுடன் வினைபுரிவதில்லை, மேலும் அறை வெப்பநிலையில் ஹைட்ரோகார்பன் சேர்மங்களுடன் வினைபுரிவதில்லை. சிலேனின் தீ மற்றும் வெடிப்பு ஆக்ஸிஜனுடனான எதிர்வினையின் விளைவாகும். சிலேன் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் காற்றுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டது. ஒரு குறிப்பிட்ட செறிவு கொண்ட சிலேன் -180°C வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனுடன் வெடிக்கும் தன்மையுடனும் வினைபுரியும். சிலேன் குறைக்கடத்தி நுண்மின்னணுவியல் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் மிக முக்கியமான சிறப்பு வாயுவாக மாறியுள்ளது, மேலும் ஒற்றை படிகப் படங்கள், மைக்ரோகிரிஸ்டலின், பாலிகிரிஸ்டலின், சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் உலோக சிலிசைடுகள் உள்ளிட்ட பல்வேறு நுண்மின்னணுப் படலங்களைத் தயாரிப்பதில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலேனின் நுண்மின்னணு பயன்பாடுகள் இன்னும் ஆழமாக வளர்ந்து வருகின்றன: குறைந்த வெப்பநிலை எபிடாக்ஸி, தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் ஹெட்டோரோபிடாக்சியல் எபிடாக்ஸி. சிலிக்கான் சாதனங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு மட்டுமல்ல, கூட்டு குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கும் (காலியம் ஆர்சனைடு, சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை). சூப்பர்லட்டிஸ் குவாண்டம் கிணறு பொருட்களை தயாரிப்பதிலும் இது பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. நவீன காலத்தில் கிட்டத்தட்ட அனைத்து மேம்பட்ட ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தி வரிகளிலும் சிலேன் பயன்படுத்தப்படுகிறது என்று கூறலாம். சிலிக்கான் கொண்ட படலம் மற்றும் பூச்சாக சிலேனின் பயன்பாடு பாரம்பரிய நுண்மின்னணுவியல் துறையில் இருந்து எஃகு, இயந்திரங்கள், ரசாயனங்கள் மற்றும் ஒளியியல் போன்ற பல்வேறு துறைகளுக்கு விரிவடைந்துள்ளது. சிலேனின் மற்றொரு சாத்தியமான பயன்பாடு உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் இயந்திர பாகங்களை தயாரிப்பதாகும், குறிப்பாக சிலிசைடு (Si3N4, SiC, முதலியன) மைக்ரோபவுடர் தொழில்நுட்பத்தை உற்பத்தி செய்ய சிலேனைப் பயன்படுத்துவது அதிக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது.
① மின்னணு:
குறைக்கடத்திகள் மற்றும் சீலண்டுகளை உற்பத்தி செய்யும் போது சிலிக்கான் செதில்களில் உள்ள பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் அடுக்குகளில் சிலேன் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
②சூரிய சக்தி:
சூரிய ஒளிமின்னழுத்த தொகுதி உற்பத்தியில் சிலேன் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
③தொழில்துறை:
இது ஆற்றல் சேமிப்பு பச்சை கண்ணாடியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் நீராவி படிவு மெல்லிய படல செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
தயாரிப்பு | சிலேன் SiH4 திரவம் | |
தொகுப்பு அளவு | 47 லிட்டர் சிலிண்டர் | Y-440L அறிமுகம் |
நிகர எடை/உருளை நிரப்புதல் | 10 கிலோ | 125 கிலோ |
20' கொள்கலனில் ஏற்றப்பட்ட அளவு | 250 சில்ஸ் | 8 சில்ஸ் |
மொத்த நிகர எடை | 2.5 டன்கள் | 1 டன் |
சிலிண்டர் டார் எடை | 52 கிலோ | 680 கிலோ |
வால்வு | சிஜிஏ632/டிஐஎஸ்எஸ்632 |
①சந்தையில் பத்து ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக;
②ISO சான்றிதழ் உற்பத்தியாளர்;
③விரைவான டெலிவரி;
④ நிலையான மூலப்பொருள் ஆதாரம்;
⑤ஒவ்வொரு படியிலும் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான ஆன்லைன் பகுப்பாய்வு அமைப்பு;
⑥நிரப்புவதற்கு முன் சிலிண்டரை கையாள அதிக தேவை மற்றும் நுணுக்கமான செயல்முறை;
⑦தூய்மை: உயர் தூய்மை மின்னணு தரம்;
⑧பயன்பாடு: சூரிய மின்கல பொருட்கள்; உயர் தூய்மை பாலிசிலிக்கான், சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் ஆப்டிகல் ஃபைபர் தயாரித்தல்; வண்ண கண்ணாடி உற்பத்தி.