சிலேன் (SiH4)

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

சிலேன் என்பது சிலிக்கான் மற்றும் ஹைட்ரஜனின் கலவை ஆகும். இது மோனோசிலேன் (SiH4), டிசிலேன் (Si2H6) மற்றும் சில உயர்-நிலை சிலிக்கான்-ஹைட்ரஜன் சேர்மங்கள் உட்பட தொடர்ச்சியான சேர்மங்களுக்கான பொதுவான சொல். அவற்றில், மோனோசிலேன் மிகவும் பொதுவானது, சில சமயங்களில் சுருக்கமாக சிலேன் என குறிப்பிடப்படுகிறது. சிலேன் பூண்டின் அருவருப்பான வாசனையுடன் நிறமற்ற வாயு. நீரில் கரையக்கூடியது, எத்தனால், ஈதர், பென்சீன், குளோரோஃபார்ம், சிலிக்கான் குளோரோஃபார்ம் மற்றும் சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு ஆகியவற்றில் கிட்டத்தட்ட கரையாதது. சிலேன்களின் வேதியியல் பண்புகள் ஆல்கேன்களை விட மிகவும் செயலில் உள்ளன மற்றும் எளிதில் ஆக்ஸிஜனேற்றப்படுகின்றன. காற்றுடன் தொடர்பு கொள்ளும்போது தன்னிச்சையான எரிப்பு ஏற்படலாம். இது 25°C க்கும் குறைவான நைட்ரஜனுடன் வினைபுரிவதில்லை, மேலும் அறை வெப்பநிலையில் ஹைட்ரோகார்பன் கலவைகளுடன் வினைபுரியாது. சிலேனின் தீ மற்றும் வெடிப்பு ஆக்ஸிஜனுடன் எதிர்வினையின் விளைவாகும். சிலேன் ஆக்ஸிஜன் மற்றும் காற்றுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்டது. ஒரு குறிப்பிட்ட செறிவு கொண்ட சிலேன் -180 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனுடன் வெடித்துச் செயல்படும். சிலேன் செமிகண்டக்டர் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் மிக முக்கியமான சிறப்பு வாயுவாக மாறியுள்ளது, மேலும் ஒற்றை படிக படங்கள், மைக்ரோ கிரிஸ்டலின், பாலிகிரிஸ்டலின், சிலிக்கான் ஆக்சைடு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு மற்றும் உலோக சிலிசைடுகள் உள்ளிட்ட பல்வேறு மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் படங்களின் தயாரிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. சிலேனின் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் பயன்பாடுகள் இன்னும் ஆழமாக வளர்ந்து வருகின்றன: குறைந்த வெப்பநிலை எபிடாக்ஸி, தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட எபிடாக்ஸி மற்றும் ஹெட்டோரோபிடாக்சியல் எபிடாக்ஸி. சிலிக்கான் சாதனங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கு மட்டுமல்ல, கலவை குறைக்கடத்தி சாதனங்களுக்கும் (கேலியம் ஆர்சனைடு, சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை). சூப்பர்லட்டீஸ் குவாண்டம் கிணறு பொருட்களை தயாரிப்பதிலும் இது பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. நவீன காலத்தில் ஏறக்குறைய அனைத்து மேம்பட்ட ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்தி வரிகளிலும் சிலேன் பயன்படுத்தப்படுகிறது என்று கூறலாம். சிலிக்கான் கொண்ட படம் மற்றும் பூச்சாக சிலேனின் பயன்பாடு பாரம்பரிய மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் இருந்து எஃகு, இயந்திரங்கள், இரசாயனங்கள் மற்றும் ஒளியியல் போன்ற பல்வேறு துறைகளுக்கு விரிவடைந்துள்ளது. சிலேனின் மற்றொரு சாத்தியமான பயன்பாடு, உயர் செயல்திறன் கொண்ட பீங்கான் இயந்திர பாகங்களை தயாரிப்பதாகும், குறிப்பாக சிலிசைடு (Si3N4, SiC, முதலியன) மைக்ரோபவுடர் தொழில்நுட்பத்தை தயாரிப்பதற்கு சிலேனைப் பயன்படுத்துவது மேலும் மேலும் கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது.

விண்ணப்பம்:

①மின்னணு:

செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் சீலண்டுகளை உற்பத்தி செய்யும் போது சிலிக்கான் செதில்களில் பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் அடுக்குகளுக்கு சிலேன் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

②சோலார்:

சிலேன் சூரிய ஒளிமின்னழுத்த தொகுதி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

③தொழில்துறை:

இது ஆற்றல் சேமிப்பு பச்சை கண்ணாடியில் பயன்படுத்தப்படுகிறது மற்றும் நீராவி படிவு மெல்லிய பட செயல்முறைக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

சாதாரண தொகுப்பு:

நன்மை:

① சந்தையில் பத்து ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக;

②ISO சான்றிதழ் உற்பத்தியாளர்;

③விரைவான விநியோகம்;

④ நிலையான மூலப்பொருள் ஆதாரம்;

⑤ஒவ்வொரு அடியிலும் தரக் கட்டுப்பாட்டுக்கான ஆன்-லைன் பகுப்பாய்வு அமைப்பு;

⑥ நிரப்புவதற்கு முன் சிலிண்டரை கையாள அதிக தேவை மற்றும் நுணுக்கமான செயல்முறை;

⑦தூய்மை: உயர் தூய்மை மின்னணு தரம்;

⑧பயன்பாடு: சூரிய மின்கல பொருட்கள்; உயர் தூய்மை பாலிசிலிகான், சிலிக்கான் ஆக்சைடு மற்றும் ஆப்டிகல் ஃபைபர் ஆகியவற்றை உருவாக்குதல்; வண்ண கண்ணாடி உற்பத்தி.