கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு என்றால் என்ன? என்ன பயன்?

என்னகார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு? என்ன பயன்?

கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு, டெட்ராஃப்ளூரோமீதேன் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது ஒரு கனிம கலவையாக கருதப்படுகிறது. இது பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் லேசர் வாயு மற்றும் குளிரூட்டியாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தின் கீழ் ஒப்பீட்டளவில் நிலையானது, ஆனால் வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றிகள், எரியக்கூடிய அல்லது எரியக்கூடிய பொருட்களுடன் தொடர்பைத் தவிர்ப்பது அவசியம். கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு என்பது வெல்ல முடியாத வாயு ஆகும். இது அதிக வெப்பத்தை எதிர்கொண்டால், அது கொள்கலனின் உள் அழுத்தத்தை அதிகரிக்கும், மேலும் விரிசல் மற்றும் வெடிப்பு ஆபத்து உள்ளது. வழக்கமாக இது அறை வெப்பநிலையில் திரவ அம்மோனியா-சோடியம் உலோக மறுஉருவாக்கத்துடன் மட்டுமே தொடர்பு கொள்ள முடியும்.

கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடுதற்போது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் மிகப்பெரிய பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயு ஆகும். சிலிக்கான், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, பாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி மற்றும் பிற மெல்லிய திரைப்படப் பொருட்களின் பொறிப்பில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், மின்னணு சாதனங்களின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்தல், சூரிய மின்கல உற்பத்தி, லேசர் தொழில்நுட்பம், வாயு-கட்ட காப்பு, குறைந்த வெப்பநிலை குளிரூட்டல், கசிவு கண்டறிதல் முகவர்கள் மற்றும் அச்சிடப்பட்ட சுற்று உற்பத்தியில் உள்ள தடுப்பு ஆகியவை பெரிய எண்ணிக்கையிலான விண்ணப்பங்களைக் கொண்டுள்ளன.