என்னகார்பன் டெட்ராபுளோரைடு?என்ன பயன்?
கார்பன் டெட்ராபுளோரைடுடெட்ராஃப்ளூரோமீத்தேன் என்றும் அழைக்கப்படும் இது ஒரு கனிம சேர்மமாகக் கருதப்படுகிறது. இது பல்வேறு ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் பிளாஸ்மா பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் லேசர் வாயு மற்றும் குளிரூட்டியாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது சாதாரண வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தின் கீழ் ஒப்பீட்டளவில் நிலையானது, ஆனால் வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்றிகள், எரியக்கூடிய அல்லது எரியக்கூடிய பொருட்களுடன் தொடர்பைத் தவிர்ப்பது அவசியம். கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு ஒரு எரியாத வாயு. இது அதிக வெப்பத்தை எதிர்கொண்டால், அது கொள்கலனின் உள் அழுத்தத்தை அதிகரிக்கும், மேலும் விரிசல் மற்றும் வெடிப்பு ஏற்படும் அபாயம் உள்ளது. பொதுவாக இது அறை வெப்பநிலையில் திரவ அம்மோனியா-சோடியம் உலோக மறுஉருவாக்கத்துடன் மட்டுமே தொடர்பு கொள்ள முடியும்.
கார்பன் டெட்ராபுளோரைடுதற்போது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் மிகப்பெரிய பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயுவாகும்.சிலிக்கான், சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு, பாஸ்போசிலிகேட் கண்ணாடி மற்றும் பிற மெல்லிய படலப் பொருட்களை பொறித்தல், மின்னணு சாதனங்களின் மேற்பரப்பை சுத்தம் செய்தல், சூரிய மின்கல உற்பத்தி, லேசர் தொழில்நுட்பம், வாயு-கட்ட காப்பு, குறைந்த வெப்பநிலை குளிர்பதனம், கசிவு கண்டறிதல் முகவர்கள் மற்றும் அச்சிடப்பட்ட சுற்று உற்பத்தியில் சவர்க்காரம் ஆகியவற்றில் இது பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
இடுகை நேரம்: நவம்பர்-01-2021





