CVD செயல்முறை மூலம் வேஃபரின் மேற்பரப்பில் டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF6) படியவைக்கப்பட்டு, உலோக இணைப்புப் பள்ளங்களை நிரப்பி, அடுக்குகளுக்கு இடையில் உலோக இணைப்பை உருவாக்குகிறது.
முதலில் பிளாஸ்மாவைப் பற்றிப் பேசுவோம். பிளாஸ்மா என்பது முக்கியமாக தனி எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் மின்னூட்டம் பெற்ற அயனிகளால் ஆன ஒரு வகை பொருளாகும். இது பிரபஞ்சத்தில் பரவலாகக் காணப்படுகிறது, மேலும் இது பெரும்பாலும் பொருளின் நான்காவது நிலையாகக் கருதப்படுகிறது. இது பிளாஸ்மா நிலை என்று அழைக்கப்படுகிறது, அல்லது "பிளாஸ்மா" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மா அதிக மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்காந்தப் புலத்துடன் ஒரு வலுவான இணைப்பு விளைவைக் கொண்டுள்ளது. இது எலக்ட்ரான்கள், அயனிகள், தனி மூலக்கூறுகள், நடுநிலைத் துகள்கள் மற்றும் ஃபோட்டான்களால் ஆன ஒரு பகுதி அயனியாக்கப்பட்ட வாயு ஆகும். பிளாஸ்மா என்பது இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் ரீதியாகச் செயல்படும் துகள்களைக் கொண்ட ஒரு மின் நடுநிலைக் கலவையாகும்.
நேரடியான விளக்கம் என்னவென்றால், உயர் ஆற்றலின் செயல்பாட்டின் கீழ், மூலக்கூறானது வான் டெர் வால்ஸ் விசை, வேதியியல் பிணைப்பு விசை மற்றும் கூலும் விசை ஆகியவற்றை மீறி, ஒட்டுமொத்தமாக ஒரு நடுநிலை மின்சார வடிவத்தை வெளிப்படுத்துகிறது. அதே நேரத்தில், வெளிப்புறத்திலிருந்து வழங்கப்படும் உயர் ஆற்றலானது மேற்கூறிய மூன்று விசைகளையும் மீறுவதால், எலக்ட்ரான்களும் அயனிகளும் ஒரு தடையற்ற நிலையை அடைகின்றன. இந்த நிலையை, குறைக்கடத்தி செதுக்குதல் செயல்முறை, CVD செயல்முறை, PVD மற்றும் IMP செயல்முறை போன்ற காந்தப்புலத்தின் பண்பேற்றத்தின் கீழ் செயற்கையாகப் பயன்படுத்திக்கொள்ள முடியும்.
உயர் ஆற்றல் என்றால் என்ன? கோட்பாட்டளவில், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அதிர்வெண் கொண்ட RF ஆகிய இரண்டையும் பயன்படுத்தலாம். பொதுவாகச் சொல்வதானால், உயர் வெப்பநிலையை அடைவது என்பது கிட்டத்தட்ட சாத்தியமற்றது. இந்த வெப்பநிலைத் தேவை மிகவும் அதிகமாகும், மேலும் இது சூரியனின் வெப்பநிலைக்கு நெருக்கமாக இருக்கலாம். இந்தச் செயல்பாட்டில் இதை அடைவது அடிப்படையில் சாத்தியமற்றது. எனவே, இதை அடைவதற்காகத் தொழில்துறை பொதுவாக உயர் அதிர்வெண் கொண்ட RF-ஐப் பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா RF 13MHz+ வரை உயர் அதிர்வெண்ணை அடையக்கூடியது.
டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு ஒரு மின்புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் பிளாஸ்மாவாக்கப்பட்டு, பின்னர் ஒரு காந்தப்புலத்தால் ஆவியாகப் படியவைக்கப்படுகிறது. W அணுக்கள் குளிர்கால வாத்து இறகுகளைப் போல புவியீர்ப்பு விசையின் செயல்பாட்டால் தரையில் விழுகின்றன. மெதுவாக, W அணுக்கள் துளைகளுக்குள் படியவைக்கப்பட்டு, இறுதியாக உலோக இணைப்புகளை உருவாக்க அந்தத் துளைகள் முழுமையாக நிரப்பப்படுகின்றன. துளைகளில் W அணுக்களைப் படியவைப்பதுடன், அவை வேஃபரின் மேற்பரப்பிலும் படியவைக்கப்படுமா? ஆம், நிச்சயமாக. பொதுவாகச் சொல்வதானால், அவற்றை அகற்றுவதற்கு W-CMP செயல்முறையைப் பயன்படுத்தலாம், இதைத்தான் நாம் இயந்திர அரைத்தல் செயல்முறை என்று அழைக்கிறோம். இது, கனத்த பனிப்பொழிவுக்குப் பிறகு தரையைத் துடைப்பத்தால் பெருக்குவதைப் போன்றது. தரையில் உள்ள பனி பெருக்கப்பட்டு அகற்றப்படும், ஆனால் தரையில் உள்ள துளையில் இருக்கும் பனி அப்படியே இருக்கும். கீழே, ஏறக்குறைய அதே போலத்தான்.
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர் 24, 2021
