டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6) ஒரு CVD செயல்முறையின் மூலம் செதில்களின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, உலோக ஒன்றோடொன்று இணைக்கும் அகழிகளை நிரப்புகிறது மற்றும் அடுக்குகளுக்கு இடையில் உலோக இணைப்புகளை உருவாக்குகிறது.
முதலில் பிளாஸ்மா பற்றி பேசுவோம். பிளாஸ்மா என்பது முக்கியமாக இலவச எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளால் ஆனது. இது பிரபஞ்சத்தில் பரவலாக உள்ளது மற்றும் பெரும்பாலும் பொருளின் நான்காவது நிலையாக கருதப்படுகிறது. இது பிளாஸ்மா நிலை என்றும், "பிளாஸ்மா" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மா அதிக மின் கடத்துத்திறன் கொண்டது மற்றும் மின்காந்த புலத்துடன் வலுவான இணைப்பு விளைவைக் கொண்டுள்ளது. இது பகுதியளவு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயு, எலக்ட்ரான்கள், அயனிகள், ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள், நடுநிலை துகள்கள் மற்றும் ஃபோட்டான்கள் ஆகியவற்றால் ஆனது. பிளாஸ்மா என்பது உடல் மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் துகள்களைக் கொண்ட ஒரு மின்சார நடுநிலை கலவையாகும்.
நேரடியான விளக்கம் என்னவென்றால், உயர் ஆற்றலின் செயல்பாட்டின் கீழ், மூலக்கூறு வான் டெர் வால்ஸ் விசை, இரசாயனப் பிணைப்பு விசை மற்றும் கூலம்ப் விசை ஆகியவற்றைக் கடந்து, ஒட்டுமொத்தமாக நடுநிலை மின்சாரத்தின் ஒரு வடிவத்தை வழங்கும். அதே சமயம், வெளியிலிருந்து அளிக்கப்படும் உயர் ஆற்றல் மேற்கண்ட மூன்று சக்திகளையும் வெல்லும். செயல்பாடு, எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் அயனிகள் ஒரு இலவச நிலையை முன்வைக்கின்றன, இது செமிகண்டக்டர் எச்சிங் செயல்முறை, CVD செயல்முறை, PVD மற்றும் IMP செயல்முறை போன்ற காந்தப்புலத்தின் பண்பேற்றத்தின் கீழ் செயற்கையாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் ஆற்றல் என்றால் என்ன? கோட்பாட்டில், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அதிர்வெண் RF இரண்டையும் பயன்படுத்தலாம். பொதுவாக, உயர் வெப்பநிலை அடைய கிட்டத்தட்ட சாத்தியமற்றது. இந்த வெப்பநிலை தேவை மிகவும் அதிகமாக உள்ளது மற்றும் சூரியனின் வெப்பநிலைக்கு அருகில் இருக்கலாம். செயல்பாட்டில் அடைவது அடிப்படையில் சாத்தியமற்றது. எனவே, தொழில்துறை பொதுவாக உயர் அதிர்வெண் RF ஐ அடைய பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா RF 13MHz+ வரை அடையும்.
டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு ஒரு மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் பிளாஸ்மாக்கப்பட்டு, பின்னர் ஒரு காந்தப்புலத்தால் நீராவி-டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. W அணுக்கள் குளிர்கால வாத்து இறகுகளைப் போலவே இருக்கும் மற்றும் புவியீர்ப்பு செயல்பாட்டின் கீழ் தரையில் விழுகின்றன. மெதுவாக, W அணுக்கள் துளைகள் வழியாக டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, மேலும் இறுதியாக உலோக இணைப்புகளை உருவாக்க துளைகள் வழியாக முழுமையாக நிரப்பப்படுகின்றன. துளைகள் வழியாக W அணுக்களை வைப்பதுடன், அவை வேஃபரின் மேற்பரப்பிலும் படியுமா? ஆம், நிச்சயமாக. பொதுவாக, நீங்கள் W-CMP செயல்முறையைப் பயன்படுத்தலாம், அதை அகற்றுவதற்கு இயந்திர அரைக்கும் செயல்முறை என்று நாங்கள் அழைக்கிறோம். கடும் பனிக்குப் பிறகு துடைப்பத்தைப் பயன்படுத்தி தரையைத் துடைப்பது போன்றது. தரையில் உள்ள பனி அடித்துச் செல்லப்படுகிறது, ஆனால் தரையில் உள்ள துளையில் பனி அப்படியே இருக்கும். கீழே, தோராயமாக அதே.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-24-2021
