டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF6) ஒரு சி.வி.டி செயல்முறை மூலம் செதிலின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது, உலோக ஒன்றோடொன்று அகழிகளை நிரப்புகிறது, மற்றும் அடுக்குகளுக்கு இடையில் உலோக ஒன்றோடொன்று உருவாக்குகிறது.
முதலில் பிளாஸ்மாவைப் பற்றி பேசலாம். பிளாஸ்மா என்பது முக்கியமாக இலவச எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளைக் கொண்ட ஒரு வடிவமாகும். இது பிரபஞ்சத்தில் பரவலாக உள்ளது மற்றும் இது பெரும்பாலும் நான்காவது பொருளாக கருதப்படுகிறது. இது பிளாஸ்மா நிலை என்று அழைக்கப்படுகிறது, இது “பிளாஸ்மா” என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மா அதிக மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்காந்த புலத்துடன் வலுவான இணைப்பு விளைவைக் கொண்டுள்ளது. இது ஓரளவு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயு, எலக்ட்ரான்கள், அயனிகள், ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள், நடுநிலை துகள்கள் மற்றும் ஃபோட்டான்கள் ஆகியவற்றைக் கொண்டது. பிளாஸ்மா என்பது உடல் ரீதியாகவும் வேதியியல் ரீதியாகவும் செயலில் உள்ள துகள்களைக் கொண்ட ஒரு மின்சாரம் நடுநிலை கலவையாகும்.
நேரடியான விளக்கம் என்னவென்றால், அதிக ஆற்றலின் செயல்பாட்டின் கீழ், மூலக்கூறு வான் டெர் வால்ஸ் படை, வேதியியல் பிணைப்பு சக்தி மற்றும் கூலொம்ப் சக்தியை வெல்லும், மேலும் ஒட்டுமொத்தமாக நடுநிலை மின்சாரத்தை வழங்கும். அதே நேரத்தில், வெளியில் வழங்கப்பட்ட உயர் ஆற்றல் மேற்கண்ட மூன்று சக்திகளை வெல்லும். செயல்பாடு, எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் அயனிகள் ஒரு இலவச நிலையை முன்வைக்கின்றன, அவை ஒரு காந்தப்புலத்தின் பண்பேற்றத்தின் கீழ் செயற்கையாகப் பயன்படுத்தப்படலாம், அதாவது குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறை, சி.வி.டி செயல்முறை, பி.வி.டி மற்றும் இம்ப் செயல்முறை.
அதிக ஆற்றல் என்றால் என்ன? கோட்பாட்டில், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அதிர்வெண் RF இரண்டையும் பயன்படுத்தலாம். பொதுவாக, அதிக வெப்பநிலை அடைய கிட்டத்தட்ட சாத்தியமற்றது. இந்த வெப்பநிலை தேவை மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் சூரியனின் வெப்பநிலைக்கு நெருக்கமாக இருக்கலாம். இந்த செயல்பாட்டில் அடைவது அடிப்படையில் சாத்தியமற்றது. எனவே, தொழில் பொதுவாக அதை அடைய உயர் அதிர்வெண் RF ஐப் பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா ஆர்.எஃப் 13 மெகா ஹெர்ட்ஸ்+வரை எட்டலாம்.
டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு ஒரு மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் பிளாஸ்மேட் செய்யப்படுகிறது, பின்னர் ஒரு காந்தப்புலத்தால் நீராவி-டெபாசிட் செய்யப்படுகிறது. W அணுக்கள் குளிர்கால வாத்து இறகுகளுக்கு ஒத்தவை மற்றும் ஈர்ப்பு விசையின் கீழ் தரையில் விழுகின்றன. மெதுவாக, W அணுக்கள் துளைகளுக்குள் டெபாசிட் செய்யப்படுகின்றன, இறுதியாக துளைகள் வழியாக நிரப்பப்பட்டு உலோக ஒன்றோடொன்று உருவாகின்றன. வழியாக W அணுக்களை வைப்பதோடு மட்டுமல்லாமல், அவை செதிலின் மேற்பரப்பிலும் டெபாசிட் செய்யப்படுமா? ஆம், நிச்சயமாக. பொதுவாக, நீங்கள் W-CMP செயல்முறையைப் பயன்படுத்தலாம், இதுதான் இயந்திர அரைக்கும் செயல்முறையை அகற்ற நாங்கள் அழைக்கிறோம். கனமான பனிக்குப் பிறகு தரையைத் துடைக்க ஒரு விளக்குமாறு பயன்படுத்துவது போன்றது. தரையில் பனி அடித்துச் செல்லப்படுகிறது, ஆனால் தரையில் உள்ள துளைக்குள் பனி இருக்கும். கீழே, தோராயமாக ஒரே மாதிரியானது.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர் -24-2021
