டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF6) ஒரு CVD செயல்முறை மூலம் வேஃபரின் மேற்பரப்பில் படிந்து, உலோக இடை இணைப்பு அகழிகளை நிரப்பி, அடுக்குகளுக்கு இடையில் உலோக இடை இணைப்பை உருவாக்குகிறது.
முதலில் பிளாஸ்மாவைப் பற்றிப் பேசலாம். பிளாஸ்மா என்பது முக்கியமாக இலவச எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் சார்ஜ் செய்யப்பட்ட அயனிகளைக் கொண்ட ஒரு வகைப் பொருளாகும். இது பிரபஞ்சத்தில் பரவலாக உள்ளது மற்றும் இது பெரும்பாலும் பொருளின் நான்காவது நிலையாகக் கருதப்படுகிறது. இது பிளாஸ்மா நிலை என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது "பிளாஸ்மா" என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. பிளாஸ்மா அதிக மின் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் மின்காந்த புலத்துடன் வலுவான இணைப்பு விளைவைக் கொண்டுள்ளது. இது பகுதியளவு அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட வாயுவாகும், இது எலக்ட்ரான்கள், அயனிகள், ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள், நடுநிலை துகள்கள் மற்றும் ஃபோட்டான்களால் ஆனது. பிளாஸ்மா என்பது இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் ரீதியாக செயல்படும் துகள்களைக் கொண்ட ஒரு மின் நடுநிலை கலவையாகும்.
நேரடியான விளக்கம் என்னவென்றால், உயர் ஆற்றலின் செயல்பாட்டின் கீழ், மூலக்கூறு வான் டெர் வால்ஸ் விசை, வேதியியல் பிணைப்பு விசை மற்றும் கூலம்ப் விசை ஆகியவற்றைக் கடந்து, ஒட்டுமொத்தமாக ஒரு வகையான நடுநிலை மின்சாரத்தை வழங்கும். அதே நேரத்தில், வெளிப்புறத்தால் வழங்கப்படும் உயர் ஆற்றல் மேற்கண்ட மூன்று விசைகளையும் வெல்லும். செயல்பாடு, எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் அயனிகள் ஒரு இலவச நிலையை வழங்குகின்றன, இது குறைக்கடத்தி பொறித்தல் செயல்முறை, CVD செயல்முறை, PVD மற்றும் IMP செயல்முறை போன்ற காந்தப்புலத்தின் பண்பேற்றத்தின் கீழ் செயற்கையாகப் பயன்படுத்தப்படலாம்.
அதிக ஆற்றல் என்றால் என்ன? கோட்பாட்டில், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அதிர்வெண் RF இரண்டையும் பயன்படுத்தலாம். பொதுவாகச் சொன்னால், அதிக வெப்பநிலையை அடைவது கிட்டத்தட்ட சாத்தியமற்றது. இந்த வெப்பநிலை தேவை மிக அதிகமாக உள்ளது மற்றும் சூரியனின் வெப்பநிலைக்கு அருகில் இருக்கலாம். செயல்பாட்டில் இதை அடைவது அடிப்படையில் சாத்தியமற்றது. எனவே, தொழில்துறை பொதுவாக அதை அடைய அதிக அதிர்வெண் RF ஐப் பயன்படுத்துகிறது. பிளாஸ்மா RF 13MHz+ வரை அடையலாம்.
டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு ஒரு மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் பிளாஸ்மாமயமாக்கப்படுகிறது, பின்னர் ஒரு காந்தப்புலத்தால் நீராவி படிவு செய்யப்படுகிறது. W அணுக்கள் குளிர்கால வாத்து இறகுகளைப் போலவே இருக்கும் மற்றும் ஈர்ப்பு விசையின் செயல்பாட்டின் கீழ் தரையில் விழுகின்றன. மெதுவாக, W அணுக்கள் துளைகள் வழியாக டெபாசிட் செய்யப்பட்டு, இறுதியாக துளைகள் வழியாக நிரப்பப்பட்டு உலோக இணைப்புகளை உருவாக்குகின்றன. துளைகளில் W அணுக்களை வைப்பதோடு மட்டுமல்லாமல், அவை வேஃபரின் மேற்பரப்பிலும் டெபாசிட் செய்யப்படுமா? ஆம், நிச்சயமாக. பொதுவாகச் சொன்னால், நீங்கள் W-CMP செயல்முறையைப் பயன்படுத்தலாம், இதை அகற்றுவதற்கு இயந்திர அரைக்கும் செயல்முறை என்று அழைக்கிறோம். இது கடுமையான பனிக்குப் பிறகு தரையைத் துடைக்க ஒரு விளக்குமாறு பயன்படுத்துவதைப் போன்றது. தரையில் உள்ள பனி அடித்துச் செல்லப்படுகிறது, ஆனால் தரையில் உள்ள துளையில் உள்ள பனி அப்படியே இருக்கும். கீழே, தோராயமாக அதே.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-24-2021
