அதிகம் பயன்படுத்தப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயு - நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு

பொதுவான ஃவுளூரின் கொண்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுக்கள் அடங்கும்சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (சிஎஃப் 4).

நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுவியல் துறையின் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சியுடன், அதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும். நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் இன்றியமையாத மற்றும் மிகப்பெரிய பயன்படுத்தப்பட்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுவாக, பரந்த சந்தை இடத்தைக் கொண்டுள்ளது.

ஃப்ளோரின் கொண்ட சிறப்பு வாயுவின் வகை,நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைட்டு (NF3)மிகப்பெரிய சந்தை திறன் கொண்ட மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தயாரிப்பு ஆகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனை விட செயலில் உள்ளது, ஃவுளூரின் விட நிலையானது மற்றும் கையாள எளிதானது. நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயு மற்றும் எதிர்வினை அறை துப்புரவு முகவராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி சில்லுகள், பிளாட் பேனல் காட்சிகள், ஆப்டிகல் இழைகள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்றவற்றின் உற்பத்தித் துறைகளுக்கு இது ஏற்றது.

மற்ற ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது,நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடுவேகமான எதிர்வினை மற்றும் அதிக செயல்திறனின் நன்மைகள் உள்ளன. குறிப்பாக சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களின் பொறிப்பில், இது அதிக பொறிப்பு வீதம் மற்றும் தேர்ந்தெடுப்பைக் கொண்டுள்ளது, இதனால் பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எச்சங்கள் எதுவும் இல்லை. இது ஒரு நல்ல துப்புரவு முகவராகும் மற்றும் மேற்பரப்பில் மாசு இல்லை, இது செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.