அதிகம் பயன்படுத்தப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயு – நைட்ரஜன் டிரைஃபுளோரைடு

பொதுவான ஃபுளூரின் அடங்கிய சிறப்பு மின்னணு வாயுக்களில் அடங்குபவை:சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு (CF4)டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3), நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3), ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈத்தேன் (C2F6) மற்றும் ஆக்டாஃப்ளூரோபுரோபேன் (C3F8).

நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுத் துறையின் பெருமளவிலான வளர்ச்சியால், இதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும். பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் இன்றியமையாத மற்றும் அதிகளவில் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு மின்னணு வாயுவான நைட்ரஜன் டிரைஃபுளோரைடு, ஒரு பரந்த சந்தை வாய்ப்பைக் கொண்டுள்ளது.

ஃபுளூரின் அடங்கிய ஒரு வகை சிறப்பு வாயுவாக,நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3)மிகப்பெரிய சந்தைத் திறனைக் கொண்ட மின்னணு சிறப்பு வாயுப் பொருளாகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, உயர் வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனை விட அதிக வினைத்திறன் கொண்டது, ஃபுளூரினை விட அதிக நிலைத்தன்மை கொண்டது, மற்றும் கையாளுவதற்கு எளிதானது. நைட்ரஜன் ட்ரைஃபுளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறிப்பு வாயுவாகவும், வினை அறை சுத்தப்படுத்தும் பொருளாகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மேலும் இது குறைக்கடத்தி சில்லுகள், தட்டையான திரை காட்சிகள், ஒளியிழைகள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்ற உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஏற்றது.

ஃபுளூரின் அடங்கிய மற்ற மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடுகையில்,நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடுஇது விரைவான வினை மற்றும் அதிக செயல்திறன் போன்ற நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. குறிப்பாக, சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கலந்த பொருட்களை அரிக்கும்போது, ​​இது அதிக அரிப்பு விகிதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மையையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் அரிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விட்டுச் செல்வதில்லை. இது ஒரு மிகச் சிறந்த சுத்தப்படுத்தும் பொருளாகவும் உள்ளது, மேலும் மேற்பரப்பை மாசுபடுத்தாது, இது செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யக்கூடியது.