அதிகம் பயன்படுத்தப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயு - நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு

பொதுவான ஃவுளூரின் கொண்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுக்கள் அடங்கும்சல்பர் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4), ட்ரைபுளோரோமீத்தேன் (CHF3), நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு (NF3), ஹெக்ஸாபுளோரோஎத்தேன் (C2F6) மற்றும் ஆக்டாபுளோரோபிரோபேன் (C3F8).

நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுவியல் துறையின் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சியால், அதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும். நைட்ரஜன் ட்ரைபுளோரைடு, பேனல்கள் மற்றும் செமிகண்டக்டர்களின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் தவிர்க்க முடியாத மற்றும் அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பு மின்னணு வாயுவாக, பரந்த சந்தை இடத்தைக் கொண்டுள்ளது.

ஃவுளூரின் கொண்ட சிறப்பு வாயு வகையாக,நைட்ரஜன் டிரைபுளோரைடு (NF3)மிகப்பெரிய சந்தை திறன் கொண்ட மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தயாரிப்பு ஆகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது, அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனை விட செயலில் உள்ளது, ஃவுளூரைனை விட நிலையானது மற்றும் கையாள எளிதானது. நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயுவாகவும், எதிர்வினை அறையை சுத்தம் செய்யும் முகவராகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி சில்லுகள், பிளாட் பேனல் காட்சிகள், ஆப்டிகல் ஃபைபர்கள், ஒளிமின்னழுத்த செல்கள் போன்றவற்றின் உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஏற்றது.

மற்ற ஃவுளூரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது,நைட்ரஜன் டிரைபுளோரைடுவேகமான எதிர்வினை மற்றும் உயர் செயல்திறன் ஆகியவற்றின் நன்மைகள் உள்ளன. குறிப்பாக சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களின் செதுக்கலில், இது அதிக செதுக்கும் வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் திறனையும் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எச்சம் இருக்காது. இது ஒரு சிறந்த துப்புரவு முகவர் மற்றும் மேற்பரப்பில் எந்த மாசுபாடும் இல்லை, இது செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும்.