அதிகம் பயன்படுத்தப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயு - நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு

பொதுவான ஃப்ளோரின் கொண்ட சிறப்பு மின்னணு வாயுக்கள் அடங்கும்சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (SF6), டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு (WF6),கார்பன் டெட்ராபுளோரைடு (CF4), டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன் (CHF3), நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3), ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈத்தேன் (C2F6) மற்றும் ஆக்டாஃப்ளூரோபுரோபேன் (C3F8).

நானோ தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சி மற்றும் மின்னணுத் துறையின் பெரிய அளவிலான வளர்ச்சியுடன், அதன் தேவை நாளுக்கு நாள் அதிகரிக்கும். பேனல்கள் மற்றும் குறைக்கடத்திகளின் உற்பத்தி மற்றும் செயலாக்கத்தில் இன்றியமையாத மற்றும் மிகப்பெரிய அளவில் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பு மின்னணு வாயுவாக நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பரந்த சந்தை இடத்தைக் கொண்டுள்ளது.

ஃப்ளோரின் கொண்ட சிறப்பு வாயு வகையாக,நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு (NF3)மிகப்பெரிய சந்தை திறன் கொண்ட மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தயாரிப்பு ஆகும். இது அறை வெப்பநிலையில் வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனை விட அதிக செயலில் உள்ளது, ஃப்ளோரினை விட நிலையானது மற்றும் கையாள எளிதானது. நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு முக்கியமாக பிளாஸ்மா பொறித்தல் வாயுவாகவும், எதிர்வினை அறை சுத்தம் செய்யும் முகவராகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி சில்லுகள், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள், ஆப்டிகல் ஃபைபர்கள், ஃபோட்டோவோல்டாயிக் செல்கள் போன்றவற்றின் உற்பத்தித் துறைகளுக்கு ஏற்றது.

மற்ற ஃப்ளோரின் கொண்ட மின்னணு வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது,நைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடுவேகமான எதிர்வினை மற்றும் அதிக செயல்திறன் ஆகியவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. குறிப்பாக சிலிக்கான் நைட்ரைடு போன்ற சிலிக்கான் கொண்ட பொருட்களை செதுக்குவதில், இது அதிக செதுக்குதல் வீதத்தையும் தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மையையும் கொண்டுள்ளது, பொறிக்கப்பட்ட பொருளின் மேற்பரப்பில் எந்த எச்சத்தையும் விடாது. இது ஒரு சிறந்த துப்புரவு முகவராகவும், மேற்பரப்பில் எந்த மாசுபாட்டையும் ஏற்படுத்தாது, இது செயலாக்க செயல்முறையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.