எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு எரிவாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டம் முழுவதுமாக முடுக்கிவிடப்பட்டுள்ளது!

2018 ஆம் ஆண்டில், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தை 4.512 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை எட்டியது, இது ஆண்டுக்கு ஆண்டு 16% அதிகரித்துள்ளது.குறைக்கடத்திகளுக்கான மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தொழிற்துறையின் உயர் வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் மிகப்பெரிய சந்தை அளவு ஆகியவை மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டத்தை துரிதப்படுத்தியுள்ளன!

எலக்ட்ரான் வாயு என்றால் என்ன?

எலக்ட்ரானிக் கேஸ் என்பது செமிகண்டக்டர்கள், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள், ஒளி-உமிழும் டையோட்கள், சோலார் செல்கள் மற்றும் பிற மின்னணு தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்படை மூலப் பொருளைக் குறிக்கிறது, மேலும் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், படம் உருவாக்கம், ஊக்கமருந்து மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.எலக்ட்ரானிக் வாயுவின் முக்கிய பயன்பாட்டுப் பகுதிகளில் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில், சூரிய மின்கலங்கள், மொபைல் தகவல் தொடர்பு, கார் வழிசெலுத்தல் மற்றும் கார் ஆடியோ மற்றும் வீடியோ அமைப்புகள், விண்வெளி, இராணுவத் தொழில் மற்றும் பல துறைகள் அடங்கும்.

எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுவை அதன் சொந்த வேதியியல் கலவையின்படி ஏழு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: சிலிக்கான், ஆர்சனிக், பாஸ்பரஸ், போரான், உலோக ஹைட்ரைடு, ஹாலைடு மற்றும் உலோக அல்காக்சைடு.ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் வெவ்வேறு பயன்பாட்டு முறைகளின்படி, அதை ஊக்க வாயு, எபிடாக்ஸி வாயு, அயன் பொருத்துதல் வாயு, ஒளி-உமிழும் டையோடு வாயு, எச்சிங் வாயு, இரசாயன நீராவி படிவு வாயு மற்றும் சமநிலை வாயு என பிரிக்கலாம்.குறைக்கடத்தி துறையில் 110 க்கும் மேற்பட்ட சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றில் 30 க்கும் மேற்பட்டவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொதுவாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொழில் வாயுக்களை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கிறது: பொதுவான வாயுக்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள்.அவற்றுள், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு ஒரு மையப்படுத்தப்பட்ட விநியோகத்தைக் குறிக்கிறது மற்றும் N2, H2, O2, Ar, He, போன்ற பல வாயுவைப் பயன்படுத்துகிறது. சிறப்பு வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் சில இரசாயன வாயுக்களைக் குறிக்கிறது. நீட்டிப்பு, அயனி ஊசி, கலத்தல், கழுவுதல் மற்றும் முகமூடி உருவாக்கம், இதைத்தான் இப்போது எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயு என்று அழைக்கிறோம், அதாவது உயர் தூய்மை SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, முதலியன

செமிகண்டக்டர் தொழில்துறையின் முழு உற்பத்தி செயல்முறையிலும், சிப் வளர்ச்சியிலிருந்து இறுதி சாதன பேக்கேஜிங் வரை, கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு இணைப்பும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது, மேலும் பல்வேறு வகையான வாயுக்கள் மற்றும் உயர்தர தேவைகள், எனவே மின்னணு வாயு குறைக்கடத்தி பொருட்களைக் கொண்டுள்ளது."உணவு".

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் டிஸ்ப்ளே பேனல்கள் போன்ற சீனாவின் முக்கிய எலக்ட்ரானிக் கூறுகள் புதிய உற்பத்தித் திறனில் அதிகரித்துள்ளன, மேலும் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களின் இறக்குமதி மாற்றத்திற்கான வலுவான தேவை உள்ளது.குறைக்கடத்தி துறையில் மின்னணு வாயுக்களின் நிலை பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெற்றுள்ளது.உள்நாட்டு எலக்ட்ரானிக் எரிவாயு தொழில் விரைவான வளர்ச்சிக்கு வழிவகுக்கும்.

எலக்ட்ரானிக் ஸ்பெஷல் கேஸ் தூய்மைக்கு மிக அதிக தேவைகளை கொண்டுள்ளது, ஏனெனில் தூய்மை தேவைகளுக்கு ஏற்றதாக இல்லாவிட்டால், எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுவில் உள்ள நீராவி மற்றும் ஆக்ஸிஜன் போன்ற தூய்மையற்ற குழுக்கள் குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் எளிதில் ஆக்சைடு படலை உருவாக்கும். மின்னணு சாதனங்களின் சேவை வாழ்க்கை, மற்றும் மின்னணு சிறப்பு வாயு கொண்டிருக்கும் அசுத்தங்களின் துகள்கள் குறைக்கடத்தி குறுகிய சுற்றுகள் மற்றும் சுற்று சேதத்தை ஏற்படுத்தும்.மின்னணு சாதன உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனில் தூய்மையின் முன்னேற்றம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது என்று கூறலாம்.

குறைக்கடத்தி தொழிற்துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், சிப் உற்பத்தி செயல்முறை தொடர்ந்து மேம்பட்டு வருகிறது, இப்போது அது 5nm ஐ எட்டியுள்ளது, இது மூரின் சட்டத்தின் வரம்பை நெருங்க உள்ளது, இது மனித முடியின் விட்டத்தில் இருபதில் ஒரு பங்கிற்கு சமமானதாகும் ( சுமார் 0.1 மிமீ).எனவே, இது குறைக்கடத்திகளால் உற்பத்தி செய்யப்படும் எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுவின் தூய்மையின் மீது அதிக தேவைகளை முன்வைக்கிறது.