மின்னணு சிறப்பு எரிவாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டம் அனைத்து வகையிலும் துரிதப்படுத்தப்பட்டுள்ளது!

2018-ஆம் ஆண்டில், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான உலகளாவிய மின்னணு வாயு சந்தை, முந்தைய ஆண்டுடன் ஒப்பிடுகையில் 16% அதிகரித்து, 4.512 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை எட்டியது. குறைக்கடத்திகளுக்கான மின்னணு சிறப்பு வாயுத் துறையின் உயர் வளர்ச்சி விகிதமும், மிகப்பெரிய சந்தை அளவும், மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டத்தை வேகப்படுத்தியுள்ளன!

எலக்ட்ரான் வாயு என்றால் என்ன?

மின்னணு வாயு என்பது குறைக்கடத்திகள், தட்டையான திரைக்காட்சிகள், ஒளி உமிழும் டையோடுகள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற மின்னணுப் பொருட்களின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்படை மூலப்பொருளைக் குறிக்கிறது. மேலும் இது சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், படல உருவாக்கம், கலப்படம் செய்தல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மின்னணு வாயுவின் முக்கிய பயன்பாட்டுத் துறைகளில் மின்னணுவியல் தொழில், சூரிய மின்கலங்கள், அலைபேசித் தொடர்புகள், கார் வழிசெலுத்தல் மற்றும் கார் ஒலி மற்றும் ஒளி அமைப்புகள், விண்வெளி, இராணுவத் தொழில் மற்றும் பல துறைகள் அடங்கும்.

மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களை அவற்றின் வேதியியல் கலவையின்படி சிலிக்கான், ஆர்சனிக், பாஸ்பரஸ், போரான், உலோக ஹைட்ரைடு, ஹாலைடு மற்றும் உலோக ஆல்காக்சைடு என ஏழு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம். ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் உள்ள வெவ்வேறு பயன்பாட்டு முறைகளின்படி, இதை டோப்பிங் வாயு, எபிடாக்ஸி வாயு, அயனிப் பதியவைப்பு வாயு, ஒளி உமிழும் டையோடு வாயு, எச்சிங் வாயு, வேதி ஆவிப் படியவைப்பு வாயு மற்றும் சமநிலை வாயு எனப் பிரிக்கலாம். குறைக்கடத்தித் துறையில் 110-க்கும் மேற்பட்ட சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றில் 30-க்கும் மேற்பட்டவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொதுவாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையானது வாயுக்களை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கிறது: பொதுவான வாயுக்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள். அவற்றுள், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு என்பது மையப்படுத்தப்பட்ட விநியோகத்தைக் குறிக்கிறது மற்றும் N2, H2, O2, Ar, He போன்ற அதிக அளவில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களாகும். சிறப்பு வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்திச் செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் சில வேதியியல் வாயுக்களைக் குறிக்கிறது, அதாவது நீட்டிப்பு, அயனி உட்செலுத்துதல், கலத்தல், கழுவுதல் மற்றும் முகமூடி உருவாக்கம் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களையே நாம் இப்போது மின்னணு சிறப்பு வாயு என்று அழைக்கிறோம். எடுத்துக்காட்டாக, உயர் தூய்மையான SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 போன்றவை.

குறைக்கடத்தித் துறையின் முழு உற்பத்திச் செயல்முறையிலும், சில்லு உருவாக்கம் முதல் இறுதி சாதன பேக்கேஜிங் வரை, கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு இணைப்பும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது. மேலும், பயன்படுத்தப்படும் வாயுவின் பன்முகத்தன்மை மற்றும் உயர் தரத் தேவைகள் காரணமாக, மின்னணு வாயு குறைக்கடத்திப் பொருட்களின் ஒரு முக்கிய அங்கமாக விளங்குகிறது.

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், குறைக்கடத்திகள் மற்றும் காட்சிப் பலகைகள் போன்ற சீனாவின் முக்கிய மின்னணு பாகங்களின் புதிய உற்பத்தித் திறன் அதிகரித்துள்ளது, மேலும் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களின் இறக்குமதிக்கு மாற்றாக வலுவான தேவை உள்ளது. குறைக்கடத்தித் துறையில் மின்னணு வாயுக்களின் நிலை மேலும் மேலும் முக்கியத்துவம் பெற்று வருகிறது. உள்நாட்டு மின்னணு வாயுத் தொழில் விரைவான வளர்ச்சியை அடையும்.

மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் தூய்மைக்கு மிக உயர்ந்த தேவைகள் உள்ளன. ஏனெனில், தூய்மை அந்தத் தேவைகளுக்கு ஏற்றதாக இல்லாவிட்டால், அதிலுள்ள நீராவி மற்றும் ஆக்ஸிஜன் போன்ற மாசுக் குழுக்கள் குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் எளிதில் ஆக்சைடு படலத்தை உருவாக்கும். இது மின்னணு சாதனங்களின் சேவை ஆயுளைப் பாதிக்கும். மேலும், அதிலுள்ள மாசுத் துகள்கள் குறைக்கடத்தி குறுக்குச் சுற்று மற்றும் மின்சுற்று சேதத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும். எனவே, மின்னணு சாதன உற்பத்தியின் விளைச்சல் மற்றும் செயல்திறனில் தூய்மையை மேம்படுத்துவது ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கிறது என்று கூறலாம்.

குறைக்கடத்தித் துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், சில்லு உற்பத்தி செயல்முறையும் தொடர்ந்து மேம்பட்டு வருகிறது. தற்போது அது 5 நானோமீட்டர் அளவை எட்டியுள்ளது, இது மூர் விதியின் வரம்பை நெருங்கும் தருவாயில் உள்ளது. இந்த வரம்பு, மனித முடியின் விட்டத்தில் இருபதில் ஒரு பங்கிற்கு (சுமார் 0.1 மிமீ) சமமாகும். எனவே, இது குறைக்கடத்திகளால் உற்பத்தி செய்யப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் தூய்மை மீதும் உயர்வான தேவைகளை முன்வைக்கிறது.