மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் உள்நாட்டு மாற்று திட்டம் ஆல்ரவுண்ட் வழியில் துரிதப்படுத்தப்பட்டுள்ளது!

2018 ஆம் ஆண்டில், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தை 4.512 பில்லியன் அமெரிக்க டாலர்களை எட்டியது, இது ஆண்டுக்கு 16%அதிகரிப்பு. குறைக்கடத்திகளுக்கான மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு துறையின் உயர் வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் பெரிய சந்தை அளவு மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் உள்நாட்டு மாற்று திட்டத்தை துரிதப்படுத்தியுள்ளன!

எலக்ட்ரான் வாயு என்றால் என்ன?

எலக்ட்ரானிக் வாயு என்பது குறைக்கடத்திகள், பிளாட் பேனல் காட்சிகள், ஒளி-உமிழும் டையோட்கள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற மின்னணு தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்படை மூலப்பொருட்களைக் குறிக்கிறது, மேலும் இது சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், திரைப்பட உருவாக்கம், ஊக்கமருந்து மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மின்னணு வாயுவின் முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகளில் மின்னணு தொழில், சூரிய மின்கலங்கள், மொபைல் தகவல்தொடர்புகள், கார் வழிசெலுத்தல் மற்றும் கார் ஆடியோ மற்றும் வீடியோ அமைப்புகள், விண்வெளி, இராணுவத் தொழில் மற்றும் பல துறைகள் அடங்கும்.

எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுவை அதன் சொந்த வேதியியல் கலவையின்படி ஏழு வகைகளாக பிரிக்கலாம்: சிலிக்கான், ஆர்சனிக், பாஸ்பரஸ், போரான், மெட்டல் ஹைட்ரைடு, ஹலைடு மற்றும் மெட்டல் அல்காக்சைடு. ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் வெவ்வேறு பயன்பாட்டு முறைகளின்படி, இதை ஊக்கமருந்து வாயு, எபிடாக்ஸி வாயு, அயன் உள்வைப்பு வாயு, ஒளி உமிழும் டையோடு வாயு, பொறிக்கும் வாயு, வேதியியல் நீராவி படிவு வாயு மற்றும் சமநிலை வாயு என பிரிக்கப்படலாம். குறைக்கடத்தி துறையில் 110 க்கும் மேற்பட்ட யூனிட் சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றில் 30 க்கும் மேற்பட்டவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொதுவாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொழில் வாயுக்களை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கிறது: பொதுவான வாயுக்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள். Among them, the commonly used gas refers to a centralized supply and uses a lot of gas, such as N2, H2, O2, Ar, He, etc. Special gas refers to some chemical gases used in the process of semiconductor production, such as extension, ion injection, blending, washing, and mask formation, which is what we now call electronic special gas, such as high-purity SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCL3, BF3, HCL, CL2, முதலியன.

குறைக்கடத்தி துறையின் முழு உற்பத்தி செயல்முறையிலும், சிப் வளர்ச்சி முதல் இறுதி சாதன பேக்கேஜிங் வரை, கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு இணைப்பும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது, மற்றும் பல்வேறு வகையான வாயு பயன்படுத்தப்படும் மற்றும் உயர் தரமான தேவைகள், எனவே மின்னணு வாயு குறைக்கடத்தி பொருட்களைக் கொண்டுள்ளது. “உணவு”.

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், சீனாவின் முக்கிய மின்னணு கூறுகளான செமிகண்டக்டர்கள் மற்றும் காட்சி பேனல்கள் புதிய உற்பத்தி திறனில் அதிகரித்துள்ளன, மேலும் மின்னணு வேதியியல் பொருட்களை இறக்குமதி செய்வதற்கான வலுவான தேவை உள்ளது. குறைக்கடத்தி துறையில் மின்னணு வாயுக்களின் நிலை பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் வாய்ந்தது. உள்நாட்டு மின்னணு எரிவாயு தொழில் விரைவான வளர்ச்சியை ஏற்படுத்தும்.

எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயு தூய்மைக்கு மிக உயர்ந்த தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஏனென்றால் தூய்மை தேவைகளுக்கு ஏற்றதாக இல்லாவிட்டால், மின்னணு சிறப்பு வாயுவில் உள்ள நீர் நீராவி மற்றும் ஆக்ஸிஜன் போன்ற தூய்மையற்ற குழுக்கள் குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் ஆக்சைடு திரைப்படத்தை எளிதில் உருவாக்கும், இது மின்னணு சாதனங்களின் சேவை வாழ்க்கையை பாதிக்கிறது, மேலும் மின்னணு சிறப்பு வாயு கடுமணிகளின் துகள்கள் மற்றும் சுற்று சேதங்களை ஏற்படுத்தும். மின்னணு சாதன உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனில் தூய்மையின் முன்னேற்றம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது என்று கூறலாம்.

குறைக்கடத்தி துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், சிப் உற்பத்தி செயல்முறை தொடர்ந்து மேம்பட்டு வருகிறது, இப்போது அது 5nm ஐ எட்டியுள்ளது, இது மூரின் சட்டத்தின் வரம்பை அணுக உள்ளது, இது ஒரு மனித முடியின் விட்டம் (சுமார் 0.1 மிமீ) இருபதுக்கு சமம். எனவே, இது குறைக்கடத்திகளால் உற்பத்தி செய்யப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் தூய்மைக்கும் அதிக தேவைகளை முன்வைக்கிறது.