மின்னணு சிறப்பு எரிவாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டம் அனைத்து விதத்திலும் துரிதப்படுத்தப்பட்டுள்ளது!

2018 ஆம் ஆண்டில், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளுக்கான உலகளாவிய மின்னணு எரிவாயு சந்தை US$4.512 பில்லியனை எட்டியது, இது ஆண்டுக்கு ஆண்டு 16% அதிகரிப்பு. குறைக்கடத்திகளுக்கான மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு துறையின் உயர் வளர்ச்சி விகிதம் மற்றும் மிகப்பெரிய சந்தை அளவு ஆகியவை மின்னணு சிறப்பு எரிவாயுவின் உள்நாட்டு மாற்றுத் திட்டத்தை துரிதப்படுத்தியுள்ளன!

எலக்ட்ரான் வாயு என்றால் என்ன?

மின்னணு வாயு என்பது குறைக்கடத்திகள், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளேக்கள், ஒளி-உமிழும் டையோட்கள், சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற மின்னணு தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் அடிப்படை மூலப்பொருளைக் குறிக்கிறது, மேலும் சுத்தம் செய்தல், பொறித்தல், பட உருவாக்கம், ஊக்கமருந்து மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மின்னணு வாயுவின் முக்கிய பயன்பாட்டுப் பகுதிகளில் மின்னணுத் தொழில், சூரிய மின்கலங்கள், மொபைல் தகவல் தொடர்பு, கார் வழிசெலுத்தல் மற்றும் கார் ஆடியோ மற்றும் வீடியோ அமைப்புகள், விண்வெளி, இராணுவத் தொழில் மற்றும் பல துறைகள் அடங்கும்.

எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுவை அதன் சொந்த வேதியியல் கலவையின் படி ஏழு வகைகளாகப் பிரிக்கலாம்: சிலிக்கான், ஆர்சனிக், பாஸ்பரஸ், போரான், உலோக ஹைட்ரைடு, ஹாலைடு மற்றும் உலோக அல்காக்சைடு. ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் வெவ்வேறு பயன்பாட்டு முறைகளின்படி, இது டோப்பிங் வாயு, எபிடாக்ஸி வாயு, அயன் பொருத்துதல் வாயு, ஒளி-உமிழும் டையோடு வாயு, பொறித்தல் வாயு, வேதியியல் நீராவி படிவு வாயு மற்றும் சமநிலை வாயு எனப் பிரிக்கப்படலாம். குறைக்கடத்தித் தொழிலில் 110 க்கும் மேற்பட்ட அலகு சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றில் 30 க்கும் மேற்பட்டவை பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பொதுவாக, குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் தொழில் வாயுக்களை இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கிறது: பொதுவான வாயுக்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள். அவற்றில், பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு ஒரு மையப்படுத்தப்பட்ட விநியோகத்தைக் குறிக்கிறது மற்றும் N2, H2, O2, Ar, He, போன்ற ஏராளமான வாயுவைப் பயன்படுத்துகிறது. சிறப்பு வாயு என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் நீட்டிப்பு, அயன் ஊசி, கலத்தல், கழுவுதல் மற்றும் முகமூடி உருவாக்கம் போன்ற சில வேதியியல் வாயுக்களைக் குறிக்கிறது, இதைத்தான் இப்போது நாம் மின்னணு சிறப்பு வாயு என்று அழைக்கிறோம், அதாவது உயர் தூய்மை SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, போன்றவை.

குறைக்கடத்தித் துறையின் முழு உற்பத்தி செயல்முறையிலும், சிப் வளர்ச்சியிலிருந்து இறுதி சாதன பேக்கேஜிங் வரை, கிட்டத்தட்ட ஒவ்வொரு இணைப்பும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவிலிருந்து பிரிக்க முடியாதது, மேலும் பயன்படுத்தப்படும் வாயுவின் வகை மற்றும் உயர்தரத் தேவைகள், எனவே மின்னணு வாயுவில் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் உள்ளன. "உணவு".

சமீபத்திய ஆண்டுகளில், சீனாவின் முக்கிய மின்னணு கூறுகளான குறைக்கடத்திகள் மற்றும் காட்சி பலகைகள் புதிய உற்பத்தித் திறனில் அதிகரித்துள்ளன, மேலும் மின்னணு இரசாயனப் பொருட்களின் இறக்குமதி மாற்றீட்டிற்கான வலுவான தேவை உள்ளது. குறைக்கடத்தித் துறையில் மின்னணு வாயுக்களின் இடம் பெருகிய முறையில் முக்கியத்துவம் பெற்றுள்ளது. உள்நாட்டு மின்னணு எரிவாயுத் தொழில் விரைவான வளர்ச்சிக்கு வழிவகுக்கும்.

எலக்ட்ரானிக் ஸ்பெஷல் வாயு தூய்மைக்கு மிக அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, ஏனெனில் தூய்மை தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யவில்லை என்றால், எலக்ட்ரானிக் ஸ்பெஷல் வாயுவில் உள்ள நீராவி மற்றும் ஆக்ஸிஜன் போன்ற அசுத்தக் குழுக்கள் குறைக்கடத்தியின் மேற்பரப்பில் ஆக்சைடு படலத்தை எளிதில் உருவாக்கும், இது மின்னணு சாதனங்களின் சேவை வாழ்க்கையை பாதிக்கிறது, மேலும் எலக்ட்ரானிக் ஸ்பெஷல் வாயுவில் அசுத்தங்களின் துகள்கள் குறைக்கடத்தி ஷார்ட் சர்க்யூட்கள் மற்றும் சுற்று சேதத்தை ஏற்படுத்தும். மின்னணு சாதன உற்பத்தியின் மகசூல் மற்றும் செயல்திறனில் தூய்மையின் முன்னேற்றம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது என்று கூறலாம்.

குறைக்கடத்தித் துறையின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், சிப் உற்பத்தி செயல்முறை தொடர்ந்து மேம்பட்டு வருகிறது, இப்போது அது 5nm ஐ எட்டியுள்ளது, இது மூரின் விதியின் வரம்பை நெருங்க உள்ளது, இது மனித முடியின் விட்டத்தில் இருபதில் ஒரு பங்கு (சுமார் 0.1 மிமீ) சமம். எனவே, இது குறைக்கடத்திகளால் உற்பத்தி செய்யப்படும் மின்னணு சிறப்பு வாயுவின் தூய்மைக்கு அதிக தேவைகளையும் முன்வைக்கிறது.