ஒப்பீட்டளவில் மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளைக் கொண்ட குறைக்கடத்தி செதில் ஃபவுண்டரிகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், கிட்டத்தட்ட 50 வெவ்வேறு வகையான வாயுக்கள் தேவைப்படுகின்றன. வாயுக்கள் பொதுவாக மொத்த வாயுக்களாக பிரிக்கப்படுகின்றனசிறப்பு வாயுக்கள்.

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் செமிகண்டக்டர் தொழில்களில் வாயுக்களின் பயன்பாடு வாயுக்களின் பயன்பாடு எப்போதும் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் பல்வேறு தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. யுஎல்எஸ்ஐ, டிஎஃப்டி-எல்.சி.டி முதல் தற்போதைய மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் (எம்இஎம்எஸ்) தொழில் வரை, உலர் பொறித்தல், ஆக்சிஜனேற்றம், அயன் உள்வைப்பு, மெல்லிய திரைப்பட படிவு போன்றவை உள்ளிட்ட தயாரிப்பு உற்பத்தி செயல்முறைகளாக குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

எடுத்துக்காட்டாக, சில்லுகள் மணலால் ஆனவை என்பதை பலருக்குத் தெரியும், ஆனால் சிப் உற்பத்தியின் முழு செயல்முறையையும் பார்க்கும்போது, ​​ஒளிச்சேர்க்கை, மெருகூட்டல் திரவம், இலக்கு பொருள், சிறப்பு வாயு போன்றவற்றைப் போன்ற கூடுதல் பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. பின்-இறுதி பேக்கேஜிங்கிற்கும் பல்வேறு பொருட்களின் அடி மூலக்கூறுகள், இன்டர்ஸ்போசர்கள், முன்னணி பிரேம்கள், பிணைப்புப் பொருட்கள் போன்றவை தேவை. எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுக்கள் சிலிக்கான் செதில்களுக்குப் பிறகு குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செலவுகளில் இரண்டாவது பெரிய பொருளாகும், அதைத் தொடர்ந்து முகமூடிகள் மற்றும் ஒளிச்சேர்க்கையாளர்கள்.

வாயுவின் தூய்மை கூறு செயல்திறன் மற்றும் தயாரிப்பு மகசூலில் ஒரு தீர்க்கமான செல்வாக்கைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எரிவாயு விநியோகத்தின் பாதுகாப்பு பணியாளர்களின் ஆரோக்கியம் மற்றும் தொழிற்சாலை செயல்பாட்டின் பாதுகாப்போடு தொடர்புடையது. வாயுவின் தூய்மை ஏன் செயல்முறை வரி மற்றும் பணியாளர்களில் இவ்வளவு பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது? இது மிகைப்படுத்தல் அல்ல, ஆனால் வாயுவின் ஆபத்தான பண்புகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தி துறையில் பொதுவான வாயுக்களின் வகைப்பாடு

சாதாரண வாயு

சாதாரண வாயு மொத்த வாயு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது: இது 5N க்கும் குறைவான தூய்மைத் தேவையுடன் தொழில்துறை வாயுவை குறிக்கிறது மற்றும் ஒரு பெரிய உற்பத்தி மற்றும் விற்பனை அளவு. இதை வெவ்வேறு தயாரிப்பு முறைகளின்படி காற்று பிரிப்பு வாயு மற்றும் செயற்கை வாயுவாக பிரிக்கலாம். ஹைட்ரஜன் (எச் 2), நைட்ரஜன் (என் 2), ஆக்ஸிஜன் (ஓ 2), ஆர்கான் (ஏ 2), முதலியன;

சிறப்பு வாயு

சிறப்பு வாயு என்பது குறிப்பிட்ட துறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்துறை வாயுவைக் குறிக்கிறது மற்றும் தூய்மை, வகை மற்றும் பண்புகளுக்கு சிறப்புத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. முக்கியமாகSIH4, PH3, B2H6, A8H3,எச்.சி.எல், சி.எஃப் 4,NH3, POCL3, SIH2Cl2, SIHCL3,NH3, Bcl3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6… மற்றும் பல.

மசாலா வாயுக்களின் வகைகள்

சிறப்பு வாயுக்களின் வகைகள்: அரிக்கும், நச்சு, எரியக்கூடிய, எரிப்பு-ஆதரவு, மந்தமான, முதலியன.
பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் பின்வருமாறு வகைப்படுத்தப்படுகின்றன:
(i) அரிக்கும்/நச்சு:எச்.சி.எல்、 Bf3 、 wf6 、 hbr 、 sih2cl2 、 nh3 、 ph3 、 cl2 、Bcl3…
(ii) எரியக்கூடியது: H2CH4、SIH4、 PH3 、 ASH3 、 SIH2CL2 、 B2H6 、 CH2F2 、 CH3F 、 CO…
(iii) எரியக்கூடியது: O2 、 Cl2 、 n2o 、 nf3…
(iv) மந்த: N2சி.எஃப் 4、 C2F6C4F8、SF6、 CO2Ne、Kr、 அவர்…

குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தியின் செயல்பாட்டில், ஆக்ஸிஜனேற்றம், பரவல், படிவு, பொறித்தல், ஊசி, ஒளிச்சேர்க்கை மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் சுமார் 50 வெவ்வேறு வகையான சிறப்பு வாயுக்கள் (சிறப்பு வாயுக்கள் என குறிப்பிடப்படுகின்றன) பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் மொத்த செயல்முறை படிகள் நூற்றுக்கணக்கானதை விட அதிகமாக உள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, அயன் உள்வைப்பு செயல்பாட்டில் PH3 மற்றும் ASH3 ஆகியவை பாஸ்பரஸ் மற்றும் ஆர்சனிக் மூலங்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, எஃப்-அடிப்படையிலான வாயுக்கள் சி.எஃப் 4, சி.எச்.எஃப் 3, எஸ்.எஃப் 6 மற்றும் ஆலசன் வாயுக்கள் சிஐ 2, பி.சி.ஐ 3, எச்.பி.ஆர் ஆகியவை பொதுவாக பொறித்தல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, எஸ்ஐஎச் 4, என்எச் 3, என்எச் 3, என்எச் 3, என்எச் 3, எஃப் 2/என்.இ.

மேற்கண்ட அம்சங்களிலிருந்து, பல குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் மனித உடலுக்கு தீங்கு விளைவிக்கும் என்பதை நாம் புரிந்து கொள்ளலாம். குறிப்பாக, SIH4 போன்ற சில வாயுக்கள் சுய வரையறையாக உள்ளன. அவை கசியும் வரை, அவை காற்றில் ஆக்ஸிஜனுடன் வன்முறையில் நடந்துகொண்டு எரிக்கத் தொடங்கும்; மற்றும் ASH3 மிகவும் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தது. எந்தவொரு சிறிய கசிவும் மக்களின் வாழ்க்கைக்கு தீங்கு விளைவிக்கும், எனவே சிறப்பு வாயுக்களைப் பயன்படுத்துவதற்கான கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு வடிவமைப்பின் பாதுகாப்பிற்கான தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளன.

குறைக்கடத்திகளுக்கு அதிக தூய்மை வாயுக்கள் “மூன்று டிகிரி” இருக்க வேண்டும்

வாயு தூய்மை

வாயுவில் தூய்மையற்ற வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம் பொதுவாக 99.9999%போன்ற வாயு தூய்மையின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது. பொதுவாக, மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களுக்கான தூய்மைத் தேவை 5N-6N ஐ அடைகிறது, மேலும் தூய்மையற்ற வளிமண்டல உள்ளடக்க பிபிஎம் (ஒரு மில்லியனுக்கு பகுதி), பிபிபி (ஒரு பில்லியனுக்கு பகுதி) மற்றும் பிபிடி (ஒரு டிரில்லியனுக்கு பகுதி) ஆகியவற்றின் தொகுதி விகிதத்தால் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது. எலக்ட்ரானிக் செமிகண்டக்டர் புலம் சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் தர நிலைத்தன்மைக்கு மிக உயர்ந்த தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை பொதுவாக 6n ஐ விட அதிகமாக உள்ளது.

வறட்சி

வாயுவில் சுவடு நீரின் உள்ளடக்கம் அல்லது ஈரப்பதம், பொதுவாக வளிமண்டல பனி புள்ளி -70 ℃ போன்ற பனி புள்ளியில் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது.

தூய்மை

வாயுவில் உள்ள மாசுபடுத்தும் துகள்களின் எண்ணிக்கை, µm இன் துகள் அளவு கொண்ட துகள்கள் எத்தனை துகள்கள்/மீ 3 இல் வெளிப்படுத்தப்படுகின்றன. சுருக்கப்பட்ட காற்றைப் பொறுத்தவரை, இது வழக்கமாக தவிர்க்க முடியாத திட எச்சங்களின் mg/m3 இல் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, இதில் எண்ணெய் உள்ளடக்கம் அடங்கும்.