ஒப்பீட்டளவில் மேம்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளைக் கொண்ட குறைக்கடத்தி வேஃபர் ஃபவுண்டரிகளின் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், கிட்டத்தட்ட 50 வகையான வாயுக்கள் தேவைப்படுகின்றன. வாயுக்கள் பொதுவாக மொத்த வாயுக்களாகப் பிரிக்கப்படுகின்றன மற்றும்சிறப்பு வாயுக்கள்.

நுண் மின்னணுவியல் மற்றும் குறைக்கடத்தி தொழில்களில் வாயுக்களின் பயன்பாடு குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் வாயுக்களின் பயன்பாடு எப்போதும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் பல்வேறு தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ULSI, TFT-LCD முதல் தற்போதைய மைக்ரோ-எலக்ட்ரோமெக்கானிக்கல் (MEMS) தொழில் வரை, குறைக்கடத்தி செயல்முறைகள் தயாரிப்பு உற்பத்தி செயல்முறைகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதில் உலர் பொறித்தல், ஆக்சிஜனேற்றம், அயன் பொருத்துதல், மெல்லிய படல படிவு போன்றவை அடங்கும்.

உதாரணமாக, சில்லுகள் மணலால் ஆனவை என்பது பலருக்குத் தெரியும், ஆனால் சில்லு உற்பத்தியின் முழு செயல்முறையையும் பார்க்கும்போது, ​​ஃபோட்டோரெசிஸ்ட், பாலிஷ் திரவம், இலக்கு பொருள், சிறப்பு வாயு போன்ற கூடுதல் பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. பின்-இறுதி பேக்கேஜிங்கிற்கு பல்வேறு பொருட்களின் அடி மூலக்கூறுகள், இடைச்செருகல்கள், ஈய சட்டங்கள், பிணைப்பு பொருட்கள் போன்றவையும் தேவைப்படுகின்றன. எலக்ட்ரானிக் சிறப்பு வாயுக்கள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செலவுகளில் சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்குப் பிறகு இரண்டாவது பெரிய பொருளாகும், அதைத் தொடர்ந்து முகமூடிகள் மற்றும் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட்கள் உள்ளன.

வாயுவின் தூய்மை கூறு செயல்திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலில் ஒரு தீர்க்கமான செல்வாக்கைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் எரிவாயு விநியோகத்தின் பாதுகாப்பு பணியாளர்களின் ஆரோக்கியம் மற்றும் தொழிற்சாலை செயல்பாட்டின் பாதுகாப்புடன் தொடர்புடையது. வாயுவின் தூய்மை செயல்முறை வரி மற்றும் பணியாளர்களில் ஏன் இவ்வளவு பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது? இது மிகைப்படுத்தல் அல்ல, ஆனால் வாயுவின் ஆபத்தான பண்புகளால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது.

குறைக்கடத்தித் தொழிலில் பொதுவான வாயுக்களின் வகைப்பாடு

சாதாரண எரிவாயு

சாதாரண வாயு, மொத்த வாயு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது: இது 5N க்கும் குறைவான தூய்மைத் தேவை மற்றும் அதிக உற்பத்தி மற்றும் விற்பனை அளவைக் கொண்ட தொழில்துறை வாயுவைக் குறிக்கிறது. வெவ்வேறு தயாரிப்பு முறைகளின்படி இதை காற்றுப் பிரிப்பு வாயு மற்றும் செயற்கை வாயு எனப் பிரிக்கலாம். ஹைட்ரஜன் (H2), நைட்ரஜன் (N2), ஆக்ஸிஜன் (O2), ஆர்கான் (A2), முதலியன;

சிறப்பு எரிவாயு

சிறப்பு வாயு என்பது குறிப்பிட்ட துறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்துறை வாயுவைக் குறிக்கிறது மற்றும் தூய்மை, வகை மற்றும் பண்புகளுக்கு சிறப்புத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. முக்கியமாகசிஹெச்4, பிஹெச்3, பி2எச்6, ஏ8எச்3,எச்.சி.எல்., சிஎஃப்4,தேசிய நெடுஞ்சாலை3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,தேசிய நெடுஞ்சாலை3, பிசிஎல்3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,எஸ்எஃப்6… மற்றும் பல.

ஸ்பைஷியல் வாயுக்களின் வகைகள்

சிறப்பு வாயுக்களின் வகைகள்: அரிக்கும் தன்மை, நச்சுத்தன்மை, எரியக்கூடிய தன்மை, எரிப்பு-ஆதரவு, மந்தம், முதலியன.
பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் பின்வருமாறு வகைப்படுத்தப்படுகின்றன:
(i) அரிக்கும்/நச்சு:ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம்、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、பிசிஎல்3…
(ii) எரியக்கூடியது: H2,சிஎச்4、,சிஹெச்4、PH3,AsH3,SiH2Cl2,B2H6,CH2F2,CH3F,CO...
(iii) எரியக்கூடியது: O2,Cl2,N2O,NF3…
(iv) மந்தம்: N2,சிஎஃப்4、சி2எஃப்6、சி4எஃப்8、,எஸ்எஃப்6,CO2 ,Ne、,Kr, அவர் ...

குறைக்கடத்தி சிப் உற்பத்தி செயல்பாட்டில், ஆக்சிஜனேற்றம், பரவல், படிவு, பொறித்தல், ஊசி, ஒளிக்கதிர் வரைவு மற்றும் பிற செயல்முறைகளில் சுமார் 50 வகையான சிறப்பு வாயுக்கள் (சிறப்பு வாயுக்கள் என குறிப்பிடப்படுகின்றன) பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் மொத்த செயல்முறை படிகள் நூற்றுக்கும் மேற்பட்டவை. எடுத்துக்காட்டாக, அயன் பொருத்துதல் செயல்பாட்டில் PH3 மற்றும் AsH3 பாஸ்பரஸ் மற்றும் ஆர்சனிக் மூலங்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, F- அடிப்படையிலான வாயுக்கள் CF4, CHF3, SF6 மற்றும் ஆலசன் வாயுக்கள் CI2, BCI3, HBr ஆகியவை பொதுவாக செதுக்கல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, SiH4, NH3, N2O ஆகியவை படிவு பட செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, F2/Kr/Ne, Kr/Ne ஆகியவை ஒளிக்கதிர் வரைவு செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

மேற்கூறிய அம்சங்களிலிருந்து, பல குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் மனித உடலுக்கு தீங்கு விளைவிப்பவை என்பதை நாம் புரிந்து கொள்ளலாம். குறிப்பாக, SiH4 போன்ற சில வாயுக்கள் தானாகப் பற்றவைக்கும். அவை கசியும் வரை, அவை காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜனுடன் வன்முறையில் வினைபுரிந்து எரியத் தொடங்கும்; மேலும் AsH3 மிகவும் நச்சுத்தன்மை வாய்ந்தது. எந்தவொரு சிறிய கசிவும் மக்களின் உயிருக்கு தீங்கு விளைவிக்கக்கூடும், எனவே சிறப்பு வாயுக்களைப் பயன்படுத்துவதற்கான கட்டுப்பாட்டு அமைப்பு வடிவமைப்பின் பாதுகாப்பிற்கான தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளன.

குறைக்கடத்திகளுக்கு "மூன்று டிகிரி" இருக்க உயர் தூய்மை வாயுக்கள் தேவை.

வாயு தூய்மை

வாயுவில் உள்ள மாசு வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம் பொதுவாக வாயு தூய்மையின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, எடுத்துக்காட்டாக 99.9999%. பொதுவாகச் சொன்னால், மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களுக்கான தூய்மைத் தேவை 5N-6N ஐ அடைகிறது, மேலும் தூய்மையற்ற வளிமண்டல உள்ளடக்கத்தின் தொகுதி விகிதமான ppm (ஒரு மில்லியனுக்கு ஒரு பகுதி), ppb (ஒரு பில்லியனுக்கு ஒரு பகுதி) மற்றும் ppt (ஒரு டிரில்லியனுக்கு ஒரு பகுதி) ஆகியவற்றால் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது. சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் தர நிலைத்தன்மைக்கு மின்னணு குறைக்கடத்தி புலம் மிக உயர்ந்த தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தூய்மை பொதுவாக 6N ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்.

வறட்சி

வாயுவில் உள்ள சுவடு நீரின் உள்ளடக்கம் அல்லது ஈரப்பதம் பொதுவாக பனிப் புள்ளியில் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, எடுத்துக்காட்டாக வளிமண்டல பனிப் புள்ளி -70℃.

தூய்மை

வாயுவில் உள்ள மாசுபடுத்தும் துகள்களின் எண்ணிக்கை, µm துகள் அளவு கொண்ட துகள்கள், எத்தனை துகள்கள்/M3 இல் வெளிப்படுத்தப்படுகின்றன. சுருக்கப்பட்ட காற்றிற்கு, இது பொதுவாக தவிர்க்க முடியாத திட எச்சங்களின் mg/m3 இல் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, இதில் எண்ணெய் உள்ளடக்கம் அடங்கும்.