லேசர் வாயு

மின்னணுவியல் துறையில், லேசர் வாயு முக்கியமாக லேசர் பதப்படுத்துதல் மற்றும் லித்தோகிராபி வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கைபேசித் திரைகளின் புத்தாக்கம் மற்றும் பயன்பாட்டுத் துறைகளின் விரிவாக்கத்தால், குறைந்த வெப்பநிலை பாலிசிலிக்கான் சந்தையின் அளவு மேலும் விரிவடையும், மேலும் லேசர் பதப்படுத்துதல் செயல்முறை TFT-களின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளது. குறைக்கடத்திகளைத் தயாரிப்பதற்கான ArF எக்சைமர் லேசரில் பயன்படுத்தப்படும் நியான், புளோரின் மற்றும் ஆர்கான் வாயுக்களில், லேசர் வாயு கலவையில் 96%-க்கும் அதிகமாக நியான் உள்ளது. குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் செம்மைப்படுத்தலுடன், எக்சைமர் லேசர்களின் பயன்பாடு அதிகரித்துள்ளது, மேலும் இரட்டை வெளிப்பாடு தொழில்நுட்பத்தின் அறிமுகம், ArF எக்சைமர் லேசர்களால் நுகரப்படும் நியான் வாயுவின் தேவையில் ஒரு கூர்மையான அதிகரிப்புக்கு வழிவகுத்துள்ளது. மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் உள்நாட்டுமயமாக்கலை ஊக்குவிப்பதன் மூலம், உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்களுக்கு எதிர்காலத்தில் சிறந்த சந்தை வளர்ச்சி வாய்ப்பு கிடைக்கும்.

லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முக்கிய உபகரணமாகும். லித்தோகிராஃபி டிரான்சிஸ்டர்களின் அளவை வரையறுக்கிறது. லித்தோகிராஃபி தொழில் சங்கிலியின் ஒருங்கிணைந்த வளர்ச்சியே லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் முன்னேற்றத்திற்கான திறவுகோலாகும். போட்டோரெசிஸ்ட், போட்டோலித்தோகிராஃபி வாயு, போட்டோமாஸ்க் மற்றும் பூச்சு மற்றும் மேம்பாட்டு உபகரணங்கள் போன்ற பொருத்தமான குறைக்கடத்திப் பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளன. லித்தோகிராஃபி வாயு என்பது லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் ஆழமான புற ஊதா லேசரை உருவாக்கும் வாயுவாகும். வெவ்வேறு லித்தோகிராஃபி வாயுக்கள் வெவ்வேறு அலைநீளங்களின் ஒளி மூலங்களை உருவாக்க முடியும், மேலும் அவற்றின் அலைநீளம் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தெளிவுத்திறனை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது, இது லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும். 2020 ஆம் ஆண்டில், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் மொத்த உலகளாவிய விற்பனை 413 அலகுகளாக இருக்கும், இதில் ASML விற்பனை 258 அலகுகள் 62% ஆகவும், கேனான் விற்பனை 122 அலகுகள் 30% ஆகவும், நிகான் விற்பனை 33 அலகுகள் 8% ஆகவும் இருந்தது.