லேசர் வாயு

லேசர் வாயு முக்கியமாக எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் லேசர் அனீலிங் மற்றும் லித்தோகிராஃபி வாயுவுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. மொபைல் ஃபோன் திரைகளின் கண்டுபிடிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டுப் பகுதிகளின் விரிவாக்கம் ஆகியவற்றின் பயனாக, குறைந்த வெப்பநிலை பாலிசிலிகான் சந்தையின் அளவு மேலும் விரிவாக்கப்படும், மேலும் லேசர் அனீலிங் செயல்முறை TFTகளின் செயல்திறனை கணிசமாக மேம்படுத்தியுள்ளது. செமிகண்டக்டர்களை உற்பத்தி செய்வதற்காக ArF எக்ஸைமர் லேசரில் பயன்படுத்தப்படும் நியான், ஃப்ளோரின் மற்றும் ஆர்கான் வாயுக்களில், லேசர் வாயு கலவையில் 96% க்கும் அதிகமானவை நியான் ஆகும். குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் சுத்திகரிப்பு மூலம், எக்சைமர் லேசர்களின் பயன்பாடு அதிகரித்துள்ளது, மேலும் இரட்டை வெளிப்பாடு தொழில்நுட்பத்தின் அறிமுகம் ArF எக்சைமர் லேசர்களால் நுகரப்படும் நியான் வாயுவின் தேவையில் கூர்மையான அதிகரிப்புக்கு வழிவகுத்தது. மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் உள்ளூர்மயமாக்கலை ஊக்குவிப்பதன் மூலம், உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் எதிர்காலத்தில் சிறந்த சந்தை வளர்ச்சி இடத்தைப் பெறுவார்கள்.

லித்தோகிராபி இயந்திரம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் முக்கிய கருவியாகும். லித்தோகிராஃபி டிரான்சிஸ்டர்களின் அளவை வரையறுக்கிறது. லித்தோகிராஃபி தொழில் சங்கிலியின் ஒருங்கிணைந்த வளர்ச்சி லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் முன்னேற்றத்திற்கு முக்கியமாகும். ஃபோட்டோரெசிஸ்ட், ஃபோட்டோலித்தோகிராபி கேஸ், போட்டோமாஸ்க் மற்றும் பூச்சு மற்றும் வளரும் உபகரணங்கள் போன்ற பொருந்தும் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் உயர் தொழில்நுட்ப உள்ளடக்கத்தைக் கொண்டுள்ளன. லித்தோகிராஃபி வாயு என்பது லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் ஆழமான புற ஊதா லேசரை உருவாக்கும் வாயு ஆகும். வெவ்வேறு லித்தோகிராஃபி வாயுக்கள் வெவ்வேறு அலைநீளங்களின் ஒளி மூலங்களை உருவாக்க முடியும், மேலும் அவற்றின் அலைநீளம் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் மையங்களில் ஒன்றான லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தீர்மானத்தை நேரடியாக பாதிக்கிறது. 2020 ஆம் ஆண்டில், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் மொத்த உலகளாவிய விற்பனை 413 அலகுகளாக இருக்கும், இதில் ASML விற்பனை 258 அலகுகள் 62% ஆகவும், கேனான் விற்பனை 122 அலகுகள் 30% ஆகவும், Nikon விற்பனை 33 அலகுகள் 8% ஆகவும் உள்ளன.