சிறப்பு வாயுக்கள்பொதுவானவற்றிலிருந்து வேறுபட்டதுதொழில்துறை வாயுக்கள்ஏனெனில் அவை சிறப்புப் பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன மற்றும் குறிப்பிட்ட துறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அவை தூய்மை, தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம், கலவை மற்றும் இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளுக்கு குறிப்பிட்ட தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. தொழில்துறை வாயுக்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​சிறப்பு வாயுக்கள் பல்வேறு வகைகளில் மிகவும் வேறுபட்டவை, ஆனால் சிறிய உற்பத்தி மற்றும் விற்பனை அளவைக் கொண்டுள்ளன.

திகலப்பு வாயுக்கள்மற்றும்நிலையான அளவுத்திருத்த வாயுக்கள்நாம் பொதுவாகப் பயன்படுத்தும் சிறப்பு வாயுக்களின் முக்கிய கூறுகள். கலப்பு வாயுக்கள் பொதுவாக பொது கலப்பு வாயுக்கள் மற்றும் மின்னணு கலப்பு வாயுக்கள் எனப் பிரிக்கப்படுகின்றன.

பொதுவான கலப்பு வாயுக்கள் பின்வருமாறு:லேசர் கலப்பு வாயு, கருவி கண்டறிதல் கலப்பு வாயு, வெல்டிங் கலப்பு வாயு, பாதுகாப்பு கலப்பு வாயு, மின்சார ஒளி மூல கலப்பு வாயு, மருத்துவ மற்றும் உயிரியல் ஆராய்ச்சி கலப்பு வாயு, கிருமி நீக்கம் மற்றும் கிருமி நீக்கம் கலப்பு வாயு, கருவி அலாரம் கலப்பு வாயு, உயர் அழுத்த கலப்பு வாயு மற்றும் பூஜ்ஜிய தர காற்று.

எலக்ட்ரானிக் வாயு கலவைகளில் எபிடாக்சியல் வாயு கலவைகள், வேதியியல் நீராவி படிவு வாயு கலவைகள், ஊக்கமருந்து வாயு கலவைகள், பொறித்தல் வாயு கலவைகள் மற்றும் பிற மின்னணு வாயு கலவைகள் அடங்கும். இந்த வாயு கலவைகள் குறைக்கடத்தி மற்றும் நுண் மின்னணுவியல் தொழில்களில் இன்றியமையாத பங்கை வகிக்கின்றன, மேலும் அவை பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று (LSI) மற்றும் மிகப் பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்று (VLSI) உற்பத்தியிலும், குறைக்கடத்தி சாதன உற்பத்தியிலும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

5 வகையான மின்னணு கலப்பு வாயுக்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

கலப்பு வாயுவை ஊக்கமருந்து செய்தல்

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் தயாரிப்பில், விரும்பிய கடத்துத்திறன் மற்றும் மின்தடைத்திறனை வழங்க குறைக்கடத்தி பொருட்களில் சில அசுத்தங்கள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன, இதனால் மின்தடையங்கள், PN சந்திப்புகள், புதைக்கப்பட்ட அடுக்குகள் மற்றும் பிற பொருட்கள் தயாரிக்கப்படுகின்றன. ஊக்கமருந்து செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் டோபன்ட் வாயுக்கள் என்று அழைக்கப்படுகின்றன. இந்த வாயுக்களில் முதன்மையாக ஆர்சின், பாஸ்பைன், பாஸ்பரஸ் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பாஸ்பரஸ் பென்டாஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் ட்ரைஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் பென்டாஃப்ளூரைடு,போரான் டிரைபுளோரைடு, மற்றும் டைபோரேன். டோபன்ட் மூலமானது பொதுவாக ஒரு மூல அலமாரியில் ஒரு கேரியர் வாயுவுடன் (ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்றவை) கலக்கப்படுகிறது. கலப்பு வாயு பின்னர் தொடர்ந்து ஒரு பரவல் உலைக்குள் செலுத்தப்பட்டு வேஃபரைச் சுற்றி சுழன்று, டோபண்டை வேஃபர் மேற்பரப்பில் வைப்பதை உறுதி செய்கிறது. பின்னர் டோபன்ட் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து ஒரு டோபன்ட் உலோகத்தை உருவாக்குகிறது, இது சிலிக்கானுக்குள் இடம்பெயர்கிறது.

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி வாயு கலவை

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி என்பது ஒரு அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒரு படிகப் பொருளைப் படிவு செய்து வளர்க்கும் செயல்முறையாகும். குறைக்கடத்தித் தொழிலில், கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறில் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) ஐப் பயன்படுத்தி ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட அடுக்குப் பொருளை வளர்க்கப் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் எபிடாக்சியல் வாயுக்கள் என்று அழைக்கப்படுகின்றன. பொதுவான சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வாயுக்களில் டைஹைட்ரஜன் டைக்ளோரோசிலேன், சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு மற்றும் சிலேன் ஆகியவை அடங்கும். அவை முதன்மையாக எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் படிவு, பாலிகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் படிவு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு பட படிவு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு பட படிவு மற்றும் சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற ஒளி உணர்திறன் சாதனங்களுக்கான அமார்பஸ் சிலிக்கான் பட படிவு ஆகியவற்றிற்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

அயன் பொருத்துதல் வாயு

குறைக்கடத்தி சாதனம் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்தியில், அயனி பொருத்துதல் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் கூட்டாக அயனி பொருத்துதல் வாயுக்கள் என்று குறிப்பிடப்படுகின்றன. அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட அசுத்தங்கள் (போரான், பாஸ்பரஸ் மற்றும் ஆர்சனிக் அயனிகள் போன்றவை) அடி மூலக்கூறில் பொருத்தப்படுவதற்கு முன்பு அதிக ஆற்றல் மட்டத்திற்கு துரிதப்படுத்தப்படுகின்றன. அயனி பொருத்துதல் தொழில்நுட்பம் வாசல் மின்னழுத்தத்தைக் கட்டுப்படுத்த மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. அயனி கற்றை மின்னோட்டத்தை அளவிடுவதன் மூலம் பொருத்தப்பட்ட அசுத்தங்களின் அளவை தீர்மானிக்க முடியும். அயனி பொருத்துதல் வாயுக்களில் பொதுவாக பாஸ்பரஸ், ஆர்சனிக் மற்றும் போரான் வாயுக்கள் அடங்கும்.

கலப்பு வாயுவைப் பொறித்தல்

பொறித்தல் என்பது ஃபோட்டோரெசிஸ்டால் மறைக்கப்படாத அடி மூலக்கூறின் மீது பதப்படுத்தப்பட்ட மேற்பரப்பை (உலோகப் படலம், சிலிக்கான் ஆக்சைடு படலம் போன்றவை) பொறித்து, ஃபோட்டோரெசிஸ்டால் மறைக்கப்பட்ட பகுதியைப் பாதுகாத்து, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தேவையான இமேஜிங் வடிவத்தைப் பெறுவதற்கான செயல்முறையாகும்.

வேதியியல் நீராவி படிவு வாயு கலவை

வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) என்பது ஆவியாகும் சேர்மங்களைப் பயன்படுத்தி ஒரு நீராவி-கட்ட வேதியியல் எதிர்வினை மூலம் ஒரு பொருளை அல்லது சேர்மத்தை வைப்பதாகும். இது நீராவி-கட்ட வேதியியல் எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்தும் ஒரு படலத்தை உருவாக்கும் முறையாகும். பயன்படுத்தப்படும் CVD வாயுக்கள் உருவாகும் படலத்தின் வகையைப் பொறுத்து மாறுபடும்.