எபிடாக்சியல் (வளர்ச்சி)கலப்பு காs

குறைக்கடத்தித் தொழிலில், கவனமாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறில் வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட அடுக்குப் பொருட்களை வளர்க்கப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு எபிடாக்சியல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வாயுக்களில் டைக்ளோரோசிலேன், சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு மற்றும்சிலேன்எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் படிவு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு படல படிவு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு படல படிவு, சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற ஒளி ஏற்பிகளுக்கான உருவமற்ற சிலிக்கான் படல படிவு போன்றவற்றுக்கு முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எபிடாக்ஸி என்பது ஒரு ஒற்றை படிகப் பொருளை ஒரு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் படிவு செய்து வளர்க்கும் ஒரு செயல்முறையாகும்.

வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) கலப்பு வாயு

CVD என்பது ஆவியாகும் சேர்மங்களைப் பயன்படுத்தி வாயு கட்ட வேதியியல் வினைகள் மூலம் சில தனிமங்கள் மற்றும் சேர்மங்களை வைப்பு செய்யும் ஒரு முறையாகும், அதாவது, வாயு கட்ட வேதியியல் வினைகளைப் பயன்படுத்தி ஒரு படலத்தை உருவாக்கும் முறை. உருவாக்கப்பட்ட படலத்தின் வகையைப் பொறுத்து, பயன்படுத்தப்படும் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) வாயுவும் வேறுபடுகிறது.

ஊக்கமருந்துகலப்பு வாயு

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் தயாரிப்பில், சில அசுத்தங்கள் குறைக்கடத்தி பொருட்களில் டோப் செய்யப்படுகின்றன, இதனால் பொருட்களுக்கு தேவையான கடத்துத்திறன் வகை மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட எதிர்ப்புத் திறன் ஆகியவை மின்தடையங்கள், PN சந்திப்புகள், புதைக்கப்பட்ட அடுக்குகள் போன்றவற்றை உற்பத்தி செய்ய வழங்கப்படுகின்றன. டோப்பிங் செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு டோப்பிங் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

முக்கியமாக ஆர்சின், பாஸ்பைன், பாஸ்பரஸ் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பாஸ்பரஸ் பென்டாஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் ட்ரைஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் பென்டாஃப்ளூரைடு,போரான் டிரைபுளோரைடு, டைபோரேன், முதலியன.

வழக்கமாக, ஊக்கமருந்து மூலமானது ஒரு மூல அலமாரியில் ஒரு கேரியர் வாயுவுடன் (ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்றவை) கலக்கப்படுகிறது. கலந்த பிறகு, வாயு ஓட்டம் தொடர்ந்து பரவல் உலைக்குள் செலுத்தப்பட்டு வேஃபரைச் சுற்றி, வேஃபரின் மேற்பரப்பில் டோபன்ட்களை வைப்பதோடு, பின்னர் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து சிலிக்கானுக்கு இடம்பெயரும் ஊக்கமருந்து செய்யப்பட்ட உலோகங்களை உருவாக்குகிறது.

பொறித்தல்வாயு கலவை

பொறித்தல் என்பது அடி மூலக்கூறில் உள்ள செயலாக்க மேற்பரப்பை (உலோகப் படலம், சிலிக்கான் ஆக்சைடு படலம் போன்றவை) ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் மறைத்தல் இல்லாமல் அகற்றுவதாகும், அதே நேரத்தில் ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் மறைத்தல் மூலம் பகுதியைப் பாதுகாப்பதாகும், இதனால் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தேவையான இமேஜிங் வடிவத்தைப் பெற முடியும்.

ஈரமான வேதியியல் பொறித்தல் மற்றும் உலர் வேதியியல் பொறித்தல் ஆகியவை பொறித்தல் முறைகளில் அடங்கும். உலர் வேதியியல் பொறிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு பொறித்தல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பொறிக்கும் வாயு பொதுவாக ஃப்ளோரைடு வாயு (ஹலைடு), எடுத்துக்காட்டாககார்பன் டெட்ராபுளோரைடு, நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு, ட்ரைஃப்ளூரோமீத்தேன், ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈத்தேன், பெர்ஃப்ளூரோபுரோபேன் போன்றவை.