எபிடாக்சியல் (வளர்ச்சி)கலப்பு காs

குறைக்கடத்தி தொழிலில், கவனமாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட அடி மூலக்கூறில் வேதியியல் நீராவி படிவு மூலம் ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு எபிடாக்சியல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வாயுக்களில் டிக்ளோரோசிலேன், சிலிக்கான் டெட்ராக்ளோரைடு மற்றும்சிலேன். முக்கியமாக எபிடாக்சியல் சிலிக்கான் படிவு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு திரைப்பட படிவு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு திரைப்பட படிவு, சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற ஒளிமின்னழுத்தங்களுக்கான உருவமற்ற சிலிக்கான் திரைப்பட படிவு போன்றவற்றுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) கலப்பு வாயு

சி.வி.டி என்பது வாயு கட்ட வேதியியல் எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்தி வாயு கட்ட வேதியியல் எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்தி வாயு கட்ட வேதியியல் எதிர்வினைகள் மூலம் சில கூறுகள் மற்றும் சேர்மங்களை டெபாசிட் செய்யும் முறையாகும். உருவான படத்தின் வகையைப் பொறுத்து, பயன்படுத்தப்படும் வேதியியல் நீராவி படிவு (சி.வி.டி) வாயுவும் வேறுபட்டது.

ஊக்கமருந்துகலப்பு வாயு

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் உற்பத்தியில், சில அசுத்தங்கள் குறைக்கடத்தி பொருட்களாக தேவையான கடத்துத்திறன் வகை மற்றும் உற்பத்தி மின்தடையங்கள், பிஎன் சந்திப்புகள், புதைக்கப்பட்ட அடுக்குகள் போன்றவற்றுக்கு ஒரு குறிப்பிட்ட எதிர்ப்பை வழங்குகின்றன. ஊக்கமருந்து செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு ஊக்கமருந்து வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

முக்கியமாக ஆர்சின், பாஸ்பைன், பாஸ்பரஸ் ட்ரைஃப்ளூரைடு, பாஸ்பரஸ் பென்டாஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் ட்ரைஃப்ளூரைடு, ஆர்சனிக் பென்டாஃப்ளூரைடு,போரான் ட்ரைஃப்ளூரைடு, டிபோரேன், முதலியன.

வழக்கமாக, ஊக்கமருந்து மூலமானது ஒரு மூல அமைச்சரவையில் ஒரு கேரியர் வாயுவுடன் (ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்றவை) கலக்கப்படுகிறது. கலந்த பிறகு, வாயு ஓட்டம் தொடர்ந்து பரவல் உலைக்குள் செலுத்தப்பட்டு, செதில்களைச் சுற்றி, டோபண்டுகளை செதிலின் மேற்பரப்பில் டெபாசிட் செய்கிறது, பின்னர் சிலிக்கானுடன் செயல்படுகிறது.

பொறித்தல்வாயு கலவை

பொறித்தல் என்பது ஒளிச்சேர்க்கை முகமூடி இல்லாமல் அடி மூலக்கூறில் உள்ள செயலாக்க மேற்பரப்பை (மெட்டல் ஃபிலிம், சிலிக்கான் ஆக்சைடு படம் போன்றவை) பொறிப்பதாகும், அதே நேரத்தில் ஒளிச்சேர்க்கை முகமூடியுடன் பகுதியைப் பாதுகாக்கும், இதனால் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் தேவையான இமேஜிங் முறையைப் பெறுவது.

பொறித்தல் முறைகளில் ஈரமான வேதியியல் பொறித்தல் மற்றும் உலர் வேதியியல் பொறித்தல் ஆகியவை அடங்கும். உலர்ந்த வேதியியல் பொறிப்பில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு பொறித்தல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

வாயு பொறித்தல் பொதுவாக ஃவுளூரைடு வாயு (ஹலைடு) ஆகும்கார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடு.