எபிடாக்ஸியல் (வளர்ச்சி)கலப்பு காs

குறைக்கடத்தித் துறையில், கவனமாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட ஒரு அடித்தளத்தின் மீது வேதி ஆவிப் படிவு முறையில் ஒன்று அல்லது அதற்கு மேற்பட்ட பொருள் அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுத்தப்படும் வாயு, எபிடெக்சியல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் சிலிக்கான் எபிடெக்சியல் வாயுக்களில் டைக்ளோரோசிலேன், சிலிக்கான் டெட்ராகுளோரைடு மற்றும்சிலேன்சூரிய மின்கலங்கள் மற்றும் பிற ஒளி ஏற்பிகளுக்கான எபிடெக்சியல் சிலிக்கான் படிவு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு படலப் படிவு, சிலிக்கான் நைட்ரைடு படலப் படிவு, உருவமற்ற சிலிக்கான் படலப் படிவு போன்றவற்றிற்கு இது முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. எபிடெக்ஸி என்பது ஒரு அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் ஒற்றைப் படிகப் பொருளைப் படியவைத்து வளர்க்கும் ஒரு செயல்முறையாகும்.

இரசாயன ஆவிப் படிவு (CVD) கலப்பு வாயு

CVD என்பது, ஆவியாகும் சேர்மங்களைப் பயன்படுத்தி வாயு நிலை வேதி வினைகள் மூலம் சில தனிமங்களையும் சேர்மங்களையும் படியவைக்கும் ஒரு முறையாகும்; அதாவது, இது வாயு நிலை வேதி வினைகளைப் பயன்படுத்தி படலம் உருவாக்கும் ஒரு முறையாகும். உருவாகும் படலத்தின் வகையைப் பொறுத்து, பயன்படுத்தப்படும் வேதி ஆவிப் படிவு (CVD) வாயுவும் மாறுபடும்.

ஊக்கமருந்துகலப்பு வாயு

குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் மற்றும் ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளின் உற்பத்தியில், மின்தடையாக்கிகள், PN சந்திப்புகள், புதை அடுக்குகள் போன்றவற்றைத் தயாரிப்பதற்காக, குறைக்கடத்திப் பொருட்களுக்குத் தேவையான கடத்துத்திறன் வகையையும் ஒரு குறிப்பிட்ட மின்தடைத்திறனையும் வழங்குவதற்காக, சில மாசுகள் அவற்றில் கலக்கப்படுகின்றன. இந்தக் கலப்புச் செயல்முறையில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு, கலப்பு வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

முக்கியமாக ஆர்சின், பாஸ்பைன், பாஸ்பரஸ் டிரைஃபுளோரைடு, பாஸ்பரஸ் பென்டாஃபுளோரைடு, ஆர்சனிக் டிரைஃபுளோரைடு, ஆர்சனிக் பென்டாஃபுளோரைடு ஆகியவற்றை உள்ளடக்கியது.போரான் டிரைஃப்ளூரைடுடைபோரேன், முதலியன.

வழக்கமாக, டோப்பிங் மூலமானது ஒரு மூலப் பெட்டகத்தில் ஆர்கான் மற்றும் நைட்ரஜன் போன்ற ஒரு கடத்தி வாயுவுடன் கலக்கப்படுகிறது. கலந்த பிறகு, அந்த வாயு ஓட்டமானது பரவல் உலைக்குள் தொடர்ச்சியாகச் செலுத்தப்பட்டு, வேஃபரைச் சூழ்ந்து கொள்கிறது. இது வேஃபரின் மேற்பரப்பில் டோப்பண்டுகளைப் படியவைத்து, பின்னர் சிலிக்கானுடன் வினைபுரிந்து, சிலிக்கானுக்குள் இடம்பெயரும் டோப் செய்யப்பட்ட உலோகங்களை உருவாக்குகிறது.

செதுக்குதல்வாயு கலவை

அரித்தல் என்பது, அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் தேவையான பிம்ப வடிவத்தைப் பெறுவதற்காக, ஒளித்தடை மறைப்பு உள்ள பகுதியை அப்படியே பாதுகாத்து, ஒளித்தடை மறைப்பு இல்லாமல், அடி மூலக்கூறின் மீதான செயலாக்க மேற்பரப்பை (உலோகப் படலம், சிலிக்கான் ஆக்சைடு படலம் போன்றவை) அரித்து அகற்றுவதாகும்.

அரித்தல் முறைகளில் ஈர இரசாயன அரித்தல் மற்றும் உலர் இரசாயன அரித்தல் ஆகியவை அடங்கும். உலர் இரசாயன அரித்தலில் பயன்படுத்தப்படும் வாயு, அரித்தல் வாயு என்று அழைக்கப்படுகிறது.

பொறிப்பு வாயு என்பது பொதுவாக புளோரைடு வாயு (ஹாலைடு) ஆகும், அதாவதுகார்பன் டெட்ராஃப்ளூரைடுநைட்ரஜன் டிரைஃப்ளூரைடு, டிரைஃப்ளூரோமீத்தேன், ஹெக்ஸாஃப்ளூரோஈத்தேன், பெர்ஃப்ளூரோபுரோப்பேன் போன்றவை.