சிலிக்கான் நைட்ரைடு பொறிப்பில் சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைட்டின் பங்கு

சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு என்பது சிறந்த இன்சுலேடிங் பண்புகளைக் கொண்ட ஒரு வாயு ஆகும், மேலும் இது பெரும்பாலும் உயர் மின்னழுத்த வில் அணைக்கும் மற்றும் மின்மாற்றிகள், உயர் மின்னழுத்த பரிமாற்ற கோடுகள், மின்மாற்றிகள் போன்றவற்றில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இருப்பினும், இந்த செயல்பாடுகளுக்கு மேலதிகமாக, சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு ஒரு மின்னணு செதுக்கலாகவும் பயன்படுத்தப்படலாம். எலக்ட்ரானிக் கிரேடு உயர் தூய்மை சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு ஒரு சிறந்த மின்னணு பொறிப்பாகும், இது மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்நுட்பத் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இன்று, NIU ரூட் சிறப்பு எரிவாயு எடிட்டர் யூயியூ சிலிக்கான் நைட்ரைடு பொறிப்பில் சல்பர் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு பயன்பாடு மற்றும் வெவ்வேறு அளவுருக்களின் செல்வாக்கு ஆகியவற்றை அறிமுகப்படுத்தும்.

பிளாஸ்மா சக்தியை மாற்றுவது, SF6/HE இன் வாயு விகிதம் மற்றும் கேஷனிக் வாயு O2 இன் வாயு விகிதம் உள்ளிட்ட SF6 பிளாஸ்மா பொறித்தல் SINX செயல்முறையைப் பற்றி நாங்கள் விவாதிக்கிறோம், TFT இன் SINX உறுப்பு பாதுகாப்பு அடுக்கின் பொறிப்பு விகிதத்தில் அதன் செல்வாக்கைப் பற்றி விவாதிக்கிறோம், மேலும் PLASMA கதிர்வீச்சைப் பயன்படுத்தி ஸ்பெக்ட்ரோமீட்டர் மற்றும் SF6/HE, SF6/O2 இல் உள்ள செறிவு மாற்றங்களை பகுப்பாய்வு செய்கிறது சின்க்ஸ் பொறித்தல் வீதத்தின் மாற்றம் மற்றும் பிளாஸ்மா இனங்கள் செறிவு.

பிளாஸ்மா சக்தி அதிகரிக்கும் போது, ​​பொறித்தல் வீதம் அதிகரிக்கிறது என்று ஆய்வுகள் கண்டறிந்துள்ளன; பிளாஸ்மாவில் SF6 இன் ஓட்ட விகிதம் அதிகரித்தால், எஃப் அணு செறிவு அதிகரிக்கிறது மற்றும் பொறித்தல் வீதத்துடன் சாதகமாக தொடர்புடையது. கூடுதலாக, நிலையான மொத்த ஓட்ட விகிதத்தின் கீழ் கேஷனிக் வாயு O2 ஐச் சேர்த்த பிறகு, அது பொறித்தல் வீதத்தை அதிகரிப்பதன் விளைவைக் கொண்டிருக்கும், ஆனால் வெவ்வேறு O2/SF6 ஓட்ட விகிதங்களின் கீழ், வெவ்வேறு எதிர்வினை வழிமுறைகள் இருக்கும், அவை மூன்று பகுதிகளாகப் பிரிக்கப்படலாம்: (1) O2/SF6 ஓட்ட விகிதம் O2 இந்த நேரத்தில் O2 ஐ விட அதிகமாக இருக்கும். . ஆனால் அதே நேரத்தில், பிளாஸ்மாவில் உள்ள ஓ அணுக்களும் அதிகரித்து வருகின்றன, மேலும் SINX திரைப்பட மேற்பரப்புடன் சியோக்ஸ் அல்லது சின்க்சோ (ஒய்எக்ஸ்) ஐ உருவாக்குவது எளிதானது, மேலும் அதிக ஓ அணுக்கள் அதிகரிக்கும், எஃப் அணுக்கள் பொறித்தல் எதிர்வினைக்கு மிகவும் கடினமாக இருக்கும். ஆகையால், O2/SF6 விகிதம் 1 க்கு அருகில் இருக்கும்போது பொறித்தல் விகிதம் குறையத் தொடங்குகிறது. (3) O2/SF6 விகிதம் 1 ஐ விட அதிகமாக இருக்கும்போது, ​​பொறித்தல் வீதம் குறைகிறது. O2 இன் பெரிய அதிகரிப்பு காரணமாக, பிரிக்கப்பட்ட எஃப் அணுக்கள் O2 மற்றும் வடிவத்துடன் மோதுகின்றன, இது F அணுக்களின் செறிவைக் குறைக்கிறது, இதன் விளைவாக பொறித்தல் வீதத்தில் குறைகிறது. இதிலிருந்து O2 சேர்க்கப்படும்போது, ​​O2/SF6 இன் ஓட்ட விகிதம் 0.2 முதல் 0.8 வரை இருக்கும், மேலும் சிறந்த பொறிப்பு வீதத்தைப் பெறலாம்.