ஹைட்ரஜன் குளோரைடுஒரு நிறமற்ற வாயு, கடுமையான மணம் கொண்டது. இதன் நீர்வாழ் கரைசல் ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது, இது ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் என்றும் அழைக்கப்படுகிறது. ஹைட்ரஜன் குளோரைடு தண்ணீரில் மிகவும் கரையக்கூடியது. 0°C இல், ஒரு அளவு நீர் சுமார் 500 அளவு ஹைட்ரஜன் குளோரைடைக் கரைக்கும்.

இது பின்வரும் பண்புகள் மற்றும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

1. அதிக தூய்மை

மின்னணு தரத்தின் தூய்மைஹைட்ரஜன் குளோரைடுகுறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையில் எந்த அசுத்தங்களும் அறிமுகப்படுத்தப்படவில்லை என்பதை உறுதி செய்வதற்காக, மிக அதிகமாக, பொதுவாக ppm அல்லது அதற்குக் கீழே உள்ளது.

2. மந்தநிலை

இது வேதியியல் ரீதியாக மந்த வாயுவாகும், இது பல பொருட்களுடன் வினைபுரிவதில்லை, இது குறைக்கடத்தி பொருட்கள் மற்றும் உபகரணங்களின் மாசுபாட்டைத் தடுக்க மிகவும் முக்கியமானது.

3. உயர் நிலைத்தன்மை

மின்னணு தரம்ஹைட்ரஜன் குளோரைடுநம்பகமான குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தை உறுதி செய்ய பொதுவாக நிலையான வேதியியலைக் கொண்டுள்ளது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில், மின்னணு தர ஹைட்ரஜன் குளோரைட்டின் முக்கிய பயன்பாடுகள் பின்வருமாறு:

1. மேற்பரப்பு சுத்தம் மற்றும் தயாரிப்பு

திறமையான மேற்பரப்பு சுத்தப்படுத்தியாக, மின்னணு தரம்ஹைட்ரஜன் குளோரைடுஎபிடாக்சியல் அடுக்கு அல்லது படலத்தின் தரம் மற்றும் தூய்மையை உறுதி செய்வதற்காக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் இருந்து ஆக்சைடுகள் மற்றும் அசுத்தங்களை அகற்ற பயன்படுகிறது.

2.எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உதவி

எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டில் மேற்பரப்பு சிகிச்சை முகவராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்தவும், லட்டு பொருத்தத்தை மேம்படுத்தவும், லட்டு குறைபாடுகள் உருவாவதைக் குறைக்கவும் உதவுகிறது.

3. அடி மூலக்கூறு முன் சிகிச்சை

குறைக்கடத்தி சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கு முன், மின்னணு தரம்ஹைட்ரஜன் குளோரைடுஎபிடாக்சியல் அடுக்குக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான ஒட்டுதலை மேம்படுத்த, ஒரு நிலையான அடித்தளத்தை உருவாக்க, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பை சிகிச்சையளிக்கப் பயன்படுத்தலாம்.

4. படிவு துணை முகவர்

வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) அல்லது இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) செயல்பாட்டில், மின்னணு தர ஹைட்ரஜன் குளோரைடை வாயு கட்ட பரிமாற்ற ஊடகமாகப் பயன்படுத்தி குறைக்கடத்திப் பொருட்களின் படிவு வினையில் பங்கேற்கலாம்.

5. வாயு-கட்ட பரிமாற்ற முகவர்

ஒரு வாயு-கட்ட பரிமாற்ற முகவராக, பொருளின் படிவு வீதத்தையும் சீரான தன்மையையும் சரிசெய்ய உதவும் வகையில், பிற வாயு முன்னோடிகள் எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த பண்புகள் மின்னணு தரத்தை உருவாக்குகின்றனஹைட்ரஜன் குளோரைடுகுறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு முக்கியமான செயலாக்க முகவர், இது இறுதி சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையில் முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் அதன் பயன்பாட்டிற்கு கூடுதலாக, மின்னணு தர ஹைட்ரஜன் குளோரைடு பிற பகுதிகளிலும் பல்வேறு பயன்பாடுகளைக் காணலாம், அவற்றில்: உயர் தூய்மை பொருட்கள் தயாரித்தல், எரிபொருள் செல்கள், குறைக்கடத்தி பொருள் வளர்ச்சி, நீராவி கட்ட லித்தோகிராபி, பொருள் பகுப்பாய்வு, வேதியியல் ஆராய்ச்சி.

பொதுவாக, மின்னணு தரம்ஹைட்ரஜன் குளோரைடுகுறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு வெளியே பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்ட பல்துறை, உயர் தூய்மை வாயு ஆகும்.