அல்ட்ரா-ஹை பியூரிட்டி (UHP) வாயுக்கள் குறைக்கடத்தித் துறையின் உயிர்நாடியாகும். உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலிகளுக்கான முன்னெப்போதும் இல்லாத தேவை மற்றும் இடையூறுகள் அல்ட்ரா-ஹை பிரஷர் வாயுவின் விலையை உயர்த்துவதால், புதிய குறைக்கடத்தி வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தி நடைமுறைகள் தேவையான மாசு கட்டுப்பாட்டு அளவை அதிகரித்து வருகின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு, UHP வாயுவின் தூய்மையை உறுதி செய்வது எப்போதையும் விட முக்கியமானது.

நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அல்ட்ரா ஹை ப்யூரிட்டி (UHP) வாயுக்கள் மிகவும் முக்கியமானவை.

UHP வாயுவின் முக்கிய பயன்பாடுகளில் ஒன்று மந்தமாக்கல் ஆகும்: குறைக்கடத்தி கூறுகளைச் சுற்றி ஒரு பாதுகாப்பு வளிமண்டலத்தை வழங்க UHP வாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதன் மூலம் வளிமண்டலத்தில் ஈரப்பதம், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் பிற மாசுபடுத்திகளின் தீங்கு விளைவிக்கும் விளைவுகளிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கிறது. இருப்பினும், மந்தமாக்கல் என்பது குறைக்கடத்தித் தொழிலில் வாயுக்கள் செய்யும் பல வேறுபட்ட செயல்பாடுகளில் ஒன்றாகும். முதன்மை பிளாஸ்மா வாயுக்கள் முதல் பொறித்தல் மற்றும் அனீலிங் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை வாயுக்கள் வரை, அதி-உயர் அழுத்த வாயுக்கள் பல வேறுபட்ட நோக்கங்களுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலி முழுவதும் அவசியமானவை.

குறைக்கடத்தித் தொழிலில் உள்ள சில "மைய" வாயுக்கள் பின்வருமாறு:நைட்ரஜன்(பொது சுத்தம் மற்றும் மந்த வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது),ஆர்கான்(பொறித்தல் மற்றும் படிவு வினைகளில் முதன்மை பிளாஸ்மா வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது),ஹீலியம்(சிறப்பு வெப்ப பரிமாற்ற பண்புகளைக் கொண்ட ஒரு மந்த வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது) மற்றும்ஹைட்ரஜன்(அனீலிங், படிதல், எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்தல் ஆகியவற்றில் பல பங்கு வகிக்கிறது).

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் பரிணமித்து மாறியதால், உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களும் மாறிவிட்டன. இன்று, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஆலைகள் மந்த வாயுக்கள் முதல் பல்வேறு வகையான வாயுக்களைப் பயன்படுத்துகின்றன, எடுத்துக்காட்டாககிரிப்டன்மற்றும்நியான்நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF 3 ) மற்றும் டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF 6 ) போன்ற வினைத்திறன் மிக்க உயிரினங்களுக்கு.

தூய்மைக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது.

முதல் வணிக மைக்ரோசிப் கண்டுபிடிக்கப்பட்டதிலிருந்து, குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனில் வியக்கத்தக்க வகையில் கிட்டத்தட்ட அதிவேக அதிகரிப்பை உலகம் கண்டுள்ளது. கடந்த ஐந்து ஆண்டுகளில், இந்த வகையான செயல்திறன் மேம்பாட்டை அடைவதற்கான உறுதியான வழிகளில் ஒன்று "அளவு அளவிடுதல்" மூலம்: கொடுக்கப்பட்ட இடத்தில் அதிக டிரான்சிஸ்டர்களை அழுத்துவதற்காக ஏற்கனவே உள்ள சிப் கட்டமைப்புகளின் முக்கிய பரிமாணங்களைக் குறைத்தல். இதற்கு கூடுதலாக, புதிய சிப் கட்டமைப்புகளின் வளர்ச்சி மற்றும் அதிநவீன பொருட்களின் பயன்பாடு சாதன செயல்திறனில் ஒரு பாய்ச்சலை உருவாக்கியுள்ளன.

இன்று, அதிநவீன குறைக்கடத்திகளின் முக்கியமான பரிமாணங்கள் மிகவும் சிறியதாக இருப்பதால், சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்த அளவை அளவிடுதல் இனி ஒரு சாத்தியமான வழியாக இருக்காது. அதற்கு பதிலாக, குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சியாளர்கள் புதுமையான பொருட்கள் மற்றும் 3D சிப் கட்டமைப்புகளின் வடிவத்தில் தீர்வுகளைத் தேடுகின்றனர்.

பல தசாப்த கால அயராத மறுவடிவமைப்பு, இன்றைய குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் பழைய மைக்ரோசிப்களை விட மிகவும் சக்திவாய்ந்தவை என்பதைக் குறிக்கிறது - ஆனால் அவை மிகவும் உடையக்கூடியவை. 300 மிமீ வேஃபர் உற்பத்தி தொழில்நுட்பத்தின் வருகை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்குத் தேவையான அசுத்தக் கட்டுப்பாட்டின் அளவை அதிகரித்துள்ளது. உற்பத்தி செயல்பாட்டில் (குறிப்பாக அரிதான அல்லது மந்த வாயுக்கள்) சிறிதளவு மாசுபாடு கூட பேரழிவு தரும் உபகரண செயலிழப்புக்கு வழிவகுக்கும் - எனவே வாயு தூய்மை இப்போது எப்போதையும் விட முக்கியமானது.

ஒரு பொதுவான குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஆலைக்கு, சிலிக்கானுக்குப் பிறகு அல்ட்ரா-ஹை-தூய்மை வாயு ஏற்கனவே மிகப்பெரிய பொருள் செலவாகும். குறைக்கடத்திகளுக்கான தேவை புதிய உயரங்களை எட்டும்போது இந்த செலவுகள் அதிகரிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. ஐரோப்பாவில் நிகழ்வுகள் பதட்டமான அல்ட்ரா-ஹை-பிரஷர் இயற்கை எரிவாயு சந்தையில் கூடுதல் இடையூறுகளை ஏற்படுத்தியுள்ளன. உக்ரைன் உலகின் மிகப்பெரிய உயர்-தூய்மை ஏற்றுமதியாளர்களில் ஒன்றாகும்.நியான்அறிகுறிகள்; ரஷ்யாவின் படையெடுப்பு என்பது அரிய வாயுவின் விநியோகம் கட்டுப்படுத்தப்படுவதைக் குறிக்கிறது. இதன் விளைவாக பற்றாக்குறை மற்றும் பிற உன்னத வாயுக்களின் விலை உயர்வுக்கு வழிவகுத்தது, எடுத்துக்காட்டாககிரிப்டன்மற்றும்செனான்.