அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை (யுஹெச்.பி) வாயுக்கள் குறைக்கடத்தி தொழிலின் உயிர்நாடி. உலகளாவிய விநியோகச் சங்கிலிகளுக்கு முன்னோடியில்லாத தேவை மற்றும் இடையூறுகள் அல்ட்ரா-உயர் அழுத்த வாயுவின் விலையை உயர்த்துவதால், புதிய குறைக்கடத்தி வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தி நடைமுறைகள் தேவையான மாசு கட்டுப்பாட்டின் அளவை அதிகரித்து வருகின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியாளர்களுக்கு, யுஹெச்.பி வாயுவின் தூய்மையை உறுதிப்படுத்துவது முன்னெப்போதையும் விட முக்கியமானது.

நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அல்ட்ரா உயர் தூய்மை (யுஹெச்.பி) வாயுக்கள் முற்றிலும் முக்கியமானவை

UHP வாயுவின் முக்கிய பயன்பாடுகளில் ஒன்று மந்தநிலை: குறைக்கடத்தி கூறுகளைச் சுற்றி ஒரு பாதுகாப்பு வளிமண்டலத்தை வழங்க UHP வாயு பயன்படுத்தப்படுகிறது, இதன் மூலம் வளிமண்டலத்தில் ஈரப்பதம், ஆக்ஸிஜன் மற்றும் பிற அசுத்தங்களின் தீங்கு விளைவுகளிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கிறது. இருப்பினும், மந்தநிலை என்பது குறைக்கடத்தி துறையில் வாயுக்கள் செய்யும் பல வேறுபட்ட செயல்பாடுகளில் ஒன்றாகும். முதன்மை பிளாஸ்மா வாயுக்கள் முதல் பொறித்தல் மற்றும் வருடாந்திரத்தில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை வாயுக்கள் வரை, அதி-உயர் அழுத்த வாயுக்கள் பல்வேறு நோக்கங்களுக்காகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் அவை குறைக்கடத்தி விநியோகச் சங்கிலி முழுவதும் அவசியமானவை.

குறைக்கடத்தி துறையில் சில “கோர்” வாயுக்கள் அடங்கும்நைட்ரஜன்(பொது துப்புரவு மற்றும் மந்த வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது),ஆர்கான்(பொறித்தல் மற்றும் படிவு எதிர்வினைகளில் முதன்மை பிளாஸ்மா வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது),ஹீலியம்(சிறப்பு வெப்ப-பரிமாற்ற பண்புகளுடன் ஒரு மந்த வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது) மற்றும்ஹைட்ரஜன்(வருடாந்திர, படிவு, எபிடாக்ஸி மற்றும் பிளாஸ்மா சுத்தம் செய்வதில் பல பாத்திரங்களை வகிக்கிறது).

குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் உருவாகி மாறியதால், உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் உள்ளன. இன்று, குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஆலைகள் போன்ற உன்னத வாயுக்களில் இருந்து பரந்த அளவிலான வாயுக்களைப் பயன்படுத்துகின்றனகிரிப்டன்மற்றும்நியான்நைட்ரஜன் ட்ரைஃப்ளூரைடு (NF 3) மற்றும் டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடு (WF 6) போன்ற எதிர்வினை இனங்களுக்கு.

தூய்மைக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது

முதல் வணிக மைக்ரோசிப்பின் கண்டுபிடிக்கப்பட்டதிலிருந்து, குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் செயல்திறனில் வியக்கத்தக்க வகையில் அதிகரிப்புக்கு உலகம் கண்டது. கடந்த ஐந்து ஆண்டுகளில், இந்த வகையான செயல்திறன் மேம்பாட்டை அடைவதற்கான உறுதியான வழிகளில் ஒன்று “அளவு அளவிடுதல்” மூலம்: அதிக டிரான்சிஸ்டர்களை ஒரு குறிப்பிட்ட இடத்திற்குள் கசக்கிவிடுவதற்கு இருக்கும் சிப் கட்டமைப்புகளின் முக்கிய பரிமாணங்களைக் குறைத்தல். இது தவிர, புதிய சிப் கட்டமைப்புகளின் வளர்ச்சியும், அதிநவீன பொருட்களின் பயன்பாடும் சாதன செயல்திறனில் பாய்ச்சல்களை உருவாக்கியுள்ளன.

இன்று, அதிநவீன குறைக்கடத்திகளின் முக்கியமான பரிமாணங்கள் இப்போது மிகச் சிறியவை, அளவு அளவிடுதல் என்பது சாதன செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான ஒரு சாத்தியமான வழியாகும். அதற்கு பதிலாக, குறைக்கடத்தி ஆராய்ச்சியாளர்கள் நாவல் பொருட்கள் மற்றும் 3 டி சிப் கட்டமைப்புகளின் வடிவத்தில் தீர்வுகளைத் தேடுகிறார்கள்.

அயராத மறுவடிவமைப்பின் பல தசாப்தங்களாக இன்றைய குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் பழைய மைக்ரோசிப்களை விட மிகவும் சக்திவாய்ந்தவை - ஆனால் அவை மிகவும் பலவீனமானவை. 300 மிமீ வேஃபர் ஃபேப்ரிகேஷன் தொழில்நுட்பத்தின் வருகை குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கு தேவையான தூய்மையற்ற கட்டுப்பாட்டின் அளவை அதிகரித்துள்ளது. ஒரு உற்பத்தி செயல்பாட்டில் (குறிப்பாக அரிதான அல்லது மந்த வாயுக்கள்) சிறிதளவு மாசுபாடு கூட பேரழிவு தரும் உபகரணங்கள் செயலிழப்புக்கு வழிவகுக்கும் - எனவே எரிவாயு தூய்மை முன்பை விட இப்போது முக்கியமானது.

ஒரு பொதுவான குறைக்கடத்தி புனையமைப்பு ஆலைக்கு, அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை வாயு ஏற்கனவே சிலிக்கானுக்குப் பிறகு மிகப்பெரிய பொருள் செலவாகும். குறைக்கடத்திகளுக்கான தேவை புதிய உயரத்திற்கு உயரும் என்பதால் இந்த செலவுகள் அதிகரிக்கும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. ஐரோப்பாவில் நிகழ்வுகள் பதட்டமான அதி-உயர் அழுத்தம் இயற்கை எரிவாயு சந்தைக்கு கூடுதல் இடையூறு விளைவித்தன. உலகின் மிகப்பெரிய தூய்மையின் ஏற்றுமதியாளர்களில் உக்ரைன் ஒன்றாகும்நியான்அறிகுறிகள்; ரஷ்யாவின் படையெடுப்பு என்றால் அரிய வாயுவின் பொருட்கள் கட்டுப்படுத்தப்படுகின்றன. இது போன்ற பிற உன்னத வாயுக்களின் பற்றாக்குறை மற்றும் அதிக விலைகளுக்கு வழிவகுத்ததுகிரிப்டன்மற்றும்ஜெனான்.